[发明专利]对MEMS镜投影显示器中的不期望的谐波的抑制

权利要求书

1.一种用于控制微机电系统镜投影显示器的装置，包括：

微机电系统MEMS镜系统；以及

控制器，所述控制器用于生成驱动信号以致动所述MEMS镜系统，所述控制器用于修改所述驱动信号以减小所述MEMS镜系统对由所述驱动信号产生的致动的响应中的至少一个谐波。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制器包括：

电流源，所述电流源用于生成电流；以及

开关组件，所述开关组件电耦合至所述电流源，所述开关组件用于接收所述电流并且用于基于所述电流生成所述驱动信号。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述驱动信号是周期性电压波形。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述驱动信号是经修改的方波电压波形。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述开关组件用于：

生成方波电压波形；以及

使所述方波电压波形的至少一部分衰减以形成所述驱动信号。

6.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述开关组件用于：

生成方波电压波形；以及

使所述方波电压波形的至少一部分三态化以形成所述驱动信号。

7.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述开关组件用于：

生成方波电压波形；

使所述方波电压波形的至少第一部分三态化；

使所述方波电压波形的至少第二部分衰减；以及

输出经三态化和衰减的电压波形作为所述驱动信号。

8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述MEMS镜系统包括：

电机，所述电机可操作地耦合至所述控制器；以及

镜，所述镜可操作地耦合至所述电机。

9.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述控制器用于将所述驱动信号施加于所述电机以致动所述电机从而使所述镜绕至少一个轴旋转。

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，所述镜是绕第一轴和不同于所述第一轴的第二轴旋转的二维2D镜。

11.一种用于控制微机电系统镜投影显示器的系统，包括：

微机电系统MEMS镜系统；

控制器，包括：

电流源，所述电流源用于生成电流；以及

开关组件，所述开关组件电耦合至所述电流源，所述开关组件用于接收所述电流并且用于基于所述电流生成驱动信号以致动所述MEMS镜系统，所述驱动信号用于减小所述MEMS镜系统对由所述驱动信号产生的致动的响应中的至少一个谐波；

光源，所述光源光学地耦合至所述MEMS镜系统，所述光源用于发射待由所述MEMS镜系统接收的光束；以及

投影表面，所述投影表面光学地耦合至所述MEMS镜系统，所述MEMS镜用于响应于由所述驱动信号产生的致动横跨所述投影表面反射和扫描所述光束。

12.如权利要求11所述的系统，其特征在于，所述驱动信号是经修改的方波电压波形。

13.如权利要求12所述的系统，其特征在于，所述开关组件用于：

生成方波电压波形；以及

使所述方波电压波形的至少一部分衰减以形成所述驱动信号。

14.如权利要求12所述的系统，其特征在于，所述开关组件用于：

生成方波电压波形；以及

使所述方波电压波形的至少一部分三态化以形成所述驱动信号。