[发明专利]微机械构件、基于微镜的激光系统以及用于监控基于微镜的激光系统的方法

权利要求书

1.一种微机械构件(1)，其具有：

微镜(10)，其与载体衬底(13)耦合；

第一传感器二极管(11)，其设计用于提供第一输出信号，所述第一输出信号对应于所述第一传感器二极管(11)处的温度；

第二传感器二极管(12)，其设计用于提供第二输出信号，所述第二输出信号对应于入射到所述第二传感器二极管(12)上的光强度；

其中，所述第一传感器二极管(11)和所述第二传感器二极管(12)布置在所述载体衬底(13)中。

2.根据权利要求1所述的微机械构件(1)，其中，所述第一传感器二极管(11)包括不透光的覆盖层(15)。

3.根据权利要求1或2所述的微机械构件(1)，其具有反射器(18，18a，18b)，所述反射器设计用于将所述微机械构件(1)中的光偏转到所述第二传感器二极管(12)的方向上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的微机械构件(1)，其中，所述微镜(10)包括开口(19)，所述开口处于所述微镜(10)的镜面(101)与和所述镜面(101)相对置的面之间。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的微机械构件(1)，其中，所述微镜(10)包括反射元件(18)，所述反射元件布置在所述微镜(10)的镜面(101)上。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的微机械构件(1)，其中，所述第二传感器二极管(12)布置在所述载体衬底(13)的与所述微镜(10)的镜面(101)指向相同方向的一侧上。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的微机械构件(1)，其中，所述第一传感器二极管(11)和所述第二传感器二极管(12)包括共同的掺杂的半导体层(14)。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的微机械构件(1)，其中，所述第一传感器二极管(11)和所述第二传感器二极管(12)在共同载体衬底(13)中包括独立的半导体层。

9.一种基于微镜的激光系统，其具有：

激光源(20)，其设计用于提供激光射束(20)；

根据权利要求1至8中任一项所述的微机械构件(1)；

监控装置(3)，其设计用于基于由所述第一传感器二极管(11)提供的第一传感器信号(11)以及由所述第二传感器二极管(12)提供的第二输出信号确定所述基于微镜的激光系统的功能故障。

10.根据权利要求9所述的基于微镜的激光系统，其具有调制源，所述调制源设计用于提供调制信号，其中，所述激光源(2)设计用于基于所述调制信号对所提供的激光射束(20)进行调制，其中，所述监控装置(3)设计用于基于所述调制信号对由所述第二传感器二极管(12)提供的第二输出信号进行分析处理。

11.一种用于监控基于微镜的激光系统的方法，所述方法具有以下步骤：

提供(S1)第一输出信号，所述第一输出信号对应于第一传感器二极管处的温度；

提供(S2)第二输出信号，所述第二输出信号对应于入射到第二传感器二极管上的光强度；

将所述第一输出信号与所述第二输出信号进行比较(S3)；

基于所述第一输出信号与所述第二输出信号的比较求取(S4)所述基于微镜的激光系统的功能故障。