[发明专利]聚酰亚胺前体、树脂组合物和树脂薄膜的制造方法

权利要求书

1.一种(a1)聚酰亚胺前体，其特征在于，以1/99≤(结构单元L的摩尔数/结构单元M的摩尔数)≤99/1包含下述通式(1)所示的结构单元L和下述通式(2)所示的结构单元M，

式(1)中，X₁表示碳数4～32的四价基团，R₁、R₂、R₃各自独立地表示碳数1～20的一价有机基团，n表示0或1，并且a、b和c为0～4的整数，

式(2)中，X₂表示碳数4～32的四价基团，Y为选自由下述通式(3)、(4)和(5)组成的组中的至少1种，

式(3)、(4)、(5)中，R₄～R₁₁各自独立地表示碳数1～20的一价有机基团，Z各自独立地为选自由单键、亚甲基、亚乙基、醚和酮组成的组中的1种，d～k为0～4的整数。

2.根据权利要求1所述的聚酰亚胺前体，其中，所述通式(1)中的n为0。

3.根据权利要求1或2所述的聚酰亚胺前体，其中，所述通式(2)的Y为通式(3)。

4.根据权利要求1或2所述的聚酰亚胺前体，其中，所述通式(2)的Y为通式(4)。

5.根据权利要求1或2所述的聚酰亚胺前体，其中，所述通式(2)的Y为通式(5)。

6.根据权利要求1所述的聚酰亚胺前体，其中，所述X₁、X₂为源自选自由均苯四甲酸二酐(PMDA)、4,4’-氧代双邻苯二甲酸二酐(ODPA)、联苯四羧酸二酐(BPDA)和对亚苯基双(偏苯三酸单酯酐)(TAHQ)组成的组中的至少1种的四价有机基团。

7.一种树脂组合物，其特征在于，含有权利要求1～6中任一项所述的聚酰亚胺前体以及(b)有机溶剂。

8.根据权利要求7所述的树脂组合物，其特征在于，还包含选自由(c)表面活性剂和(d)烷氧基硅烷化合物组成的组中的至少1种。

9.一种聚酰亚胺，其特征在于，具有下述通式(11)所示的结构单元，

式(11)中，X₁、X₂表示碳数4～32的四价基团，R₁、R₂、R₃各自独立地表示碳数1～20的一价有机基团，n表示0或1，并且a、b和c为0～4的整数，Y为选自由下述通式(3)、(4)和(5)组成的组中的至少1种，l、m各自独立地表示1以上的整数，满足0.01≤l/(l+m)≤0.99，

式(3)、(4)、(5)中，R₄～R₁₁各自独立地表示碳数1～20的一价有机基团，Z各自独立地为选自由单键、亚甲基、亚乙基、醚和酮组成的组中的1种，d～k为0～4的整数。

10.一种树脂薄膜的制造方法，其特征在于，包括如下工序：

在支撑体的表面上涂布权利要求7或8所述的树脂组合物而形成涂膜的工序；

通过加热所述支撑体和所述涂膜而使该涂膜中所含的聚酰亚胺前体进行酰亚胺化，形成聚酰亚胺树脂膜的工序；以及

将所述聚酰亚胺树脂膜从所述支撑体剥离的工序。

11.根据权利要求10所述的树脂薄膜的制造方法，其中，

在将所述聚酰亚胺树脂膜从所述支撑体剥离的工序之前，进行从所述支撑体侧照射激光的工序。

12.一种层叠体的制造方法，其特征在于，包括如下工序：

在支撑体的表面上涂布权利要求7或8所述的树脂组合物而形成涂膜的工序；以及

通过加热所述支撑体和所述涂膜而使该涂膜中所含的聚酰亚胺前体进行酰亚胺化，形成聚酰亚胺树脂膜的工序。

13.一种显示基板的制造方法，其特征在于，包括如下工序：

在支撑体的表面上涂布权利要求7或8所述的树脂组合物而形成涂膜的工序；

通过加热所述支撑体和所述涂膜而使该涂膜中所含的聚酰亚胺前体进行酰亚胺化，形成聚酰亚胺树脂膜的工序；

在所述聚酰亚胺树脂膜上形成元件或电路的工序；以及

将形成有所述元件或电路的聚酰亚胺树脂膜从所述支撑体剥离的工序。