[发明专利]半挠性敏感质量块

权利要求书

1.一种微机电装置，包括：

基本上平的半挠性敏感质量块，所述半挠性敏感质量块包括至少一个一级部分、至少一个二级部分以及将所述半挠性敏感质量块的所述至少一个一级部分和所述至少一个二级部分联接的至少一个刚性弹簧，所述至少一个刚性弹簧在所述装置处于正常操作范围时大致使所述至少一个一级部分和所述至少一个二级部分作为单个刚性实体移动；

至少一个主弹簧，所述至少一个主弹簧联接至所述至少一个二级部分，所述主弹簧将所述半挠性敏感质量块联接至悬挂结构；

至少一个第一止动器结构，所述至少一个第一止动器结构构造成使所述至少一个一级部分停止；以及

移动梳状电极的齿，所述移动梳状电极的齿附接至所述至少一个一级部分，

其中，所述半挠性敏感质量块构造成在所述装置受到以超过所述装置的所述正常操作范围的力碰撞所述装置的冲击时通过所述至少一个刚性弹簧的偏转而变形，所述冲击导致了所述半挠性敏感质量块至少在沿着运动轴线的方向上的运动；

其中，所述至少一个刚性弹簧还产生回复力，所述回复力使所述半挠性敏感质量块的所述至少一个二级部分被驱动成在与由所述冲击导致的沿着所述运动轴线的所述运动相反的方向上进行回复运动，其中，所述至少一个二级部分在所述回复运动中的动量进一步使所述至少一个一级部分与所述至少一个第一止动器结构脱离；并且

其中，所述半挠性敏感质量块的所述至少一个一级部分中的至少一个构造成在所述半挠性敏感质量块由于所述冲击而沿着所述运动轴线发生的位移超过第一距离时通过所述第一止动器结构而停止，

其特征在于，所述装置还包括：

至少一个第二止动器结构，所述至少一个第二止动器结构构造成使所述至少一个二级部分停止，

其中，所述半挠性敏感质量块的所述至少一个二级部分中的至少一个构造成在所述半挠性敏感质量块的所述二级部分由于所述冲击而沿着所述运动轴线发生的位移超过第二距离时通过所述至少一个第二止动器结构而停止，其中，所述第二距离大于所述第一距离。

2.根据权利要求1所述的微机电装置，还包括：

至少两个第一止动器结构，所述至少两个第一止动器结构布置在所述半挠性敏感质量块的沿着所述运动轴线的相反两侧，其中，所述至少两个第一止动器结构构造成使由冲击导致的在沿着所述运动轴线的相反两个方向上发生的所述半挠性敏感质量块的运动停止。

3.根据权利要求1所述的微机电装置，其中，

所述半挠性敏感质量块的所述至少一个二级部分中的所述至少一个构造成在所述至少一个一级部分中的所述至少一个已经停止之后继续进行由所述冲击导致的沿着所述运动轴线的运动，并且其中，所继续的由所述冲击导致的沿着所述运动轴线的运动使所述刚性弹簧中的至少一个刚性弹簧偏转，从而使所述半挠性敏感质量块变形。

4.根据权利要求2所述的微机电装置，其中，

所述半挠性敏感质量块的所述至少一个二级部分中的所述至少一个构造成在所述至少一个一级部分中的所述至少一个已经停止之后继续进行由所述冲击导致的沿着所述运动轴线的运动，并且其中，所继续的由所述冲击导致的沿着所述运动轴线的运动使所述刚性弹簧中的至少一个刚性弹簧偏转，从而使所述半挠性敏感质量块变形。

5.根据权利要求1所述的微机电装置，还包括：

至少两个第二止动器结构，所述至少两个第二止动器结构布置在所述半挠性敏感质量块的沿着所述运动轴线的相反两侧，其中，所述至少两个第二止动器结构构造成使由冲击导致的在沿着所述运动轴线的相反两个方向上发生的所述半挠性敏感质量块的运动停止。

6.根据权利要求2所述的微机电装置，还包括：

至少两个第二止动器结构，所述至少两个第二止动器结构布置在所述半挠性敏感质量块的沿着所述运动轴线的相反两侧，其中，所述至少两个第二止动器结构构造成使由冲击导致的在沿着所述运动轴线的相反两个方向上发生的所述半挠性敏感质量块的运动停止。