[发明专利]工件的切断方法及线锯有效
| 申请号： | 201680054788.1 | 申请日： | 2016-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN108025417B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 北川幸司;丰田史朗 | 申请（专利权）人： | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号： | B24B27/06 | 分类号： | B24B27/06;B28D5/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 11440 北京京万通知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许天易 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工件 切断 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种工件的切断方法，以线锯进行，该线锯为将表面固着有磨粒的固定磨粒钢线卷绕于多个带沟滚筒以形成钢线列，在使该固定磨粒钢线于该固定磨粒钢线的轴方向往复驱行的同时，通过将圆柱状的工件对该钢线列切断入送，将该工件于该工件的轴方向并排的多个位置同时切断，其中
该工件的切断结束后，将该固定磨粒钢线自该工件的切断结束时的位置，卷回自该工件与该钢线列开始接触的开始切断时至该工件的切断结束时所送出的该固定磨粒钢线的长度的1/3以上2/3以下的长度后，将该工件自该钢线列抽出。
2.如权利要求1所述的工件的切断方法，其中切断作为该圆柱状的工件为直径300mm以上之物。
3.一种线锯，包含钢线列及工件运送机构，该钢线列是将表面固着有磨粒的固定磨粒钢线卷绕于多个导线器所形成，该工件运送机构于支承圆柱状的工件的同时将该工件压抵至该钢线列，在使该固定磨粒钢线于该固定磨粒钢线的轴方向往复驱行的同时，通过将圆柱状的工件对该钢线列切断入送，将该工件于该工件的轴方向并排的多个位置同时切断，其中
该线锯包含控制机构，该控制机构进行控制而于该工件的切断结束后，将该固定磨粒钢线自该工件的切断结束时的位置，卷回自该工件与该钢线列开始接触的开始切断时至该工件的切断结束时所送出的该固定磨粒钢线的长度的1/3以上2/3以下的长度后，将该工件自该钢线列抽出。
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