[发明专利]弹性波元件以及弹性波装置

说明书

本发明的弹性波元件具备：基板(2)；IDT电极(3)，位于基板(2)的上表面，且包括第1汇流条(31a)、在第1方向上与第1汇流条(31a)隔着间隔配置的第2汇流条(31b)、与第1汇流条(31a)连接的多个第1电极指(32a)、与第2汇流条(31b)连接的多个第2电极指(32b)、隔着间隙与第1电极指(32a)的前端对置的第2虚拟电极指(33b)。对于第2电极指(32b)而言，相较于将多个第1电极指(32a)的前端连接的第1假想线(L1)更靠近第2汇流条(31b)侧的区域内的粗细比相较于第1假想线(L1)更靠近第1汇流条(31a)侧的区域内的粗细粗。

技术领域

本公开涉及声表面波(SAW：Surface Acoustic Wave)元件等弹性波元件以及使用了该元件的弹性波装置。

背景技术

作为弹性波元件，已知如下的弹性波元件，该弹性波元件具有：薄的压电基板；设置在压电基板的主面上的IDT(Inter Digital Transducer)；以及贴合在压电基板的相反侧的面且由线膨胀系数比压电基板小的材料构成的基板(例如，专利文献1)。这样的弹性波元件例如利用于分波器的发送滤波器、接收滤波器等。IDT电极例如具备：对置的一对汇流条；从各个汇流条向另一个汇流条侧交替延伸出的多个电极指；以及在该电极指的延伸方向上从另一个汇流条延伸出的虚拟电极。

已知，这样的弹性波元件会因压电基板变薄而产生依赖于在厚度方向上产生的体波的杂散，从而会产生损耗。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2005-252550号公报

发明内容

发明要解决的课题

在这样的状况当中，期望提供一种抑制了损耗的弹性波元件。因此，本发明的目的在于，提供一种抑制了损耗的弹性波元件。

用于解决课题的手段

本公开的一方式涉及的弹性波元件包括：由压电晶体构成的基板；IDT电极；以及支承基板。IDT电极具备：位于基板的上表面的第1汇流条、第2汇流条、多个第1电极指、多个第2电极指、第1虚拟电极指以及第2虚拟电极指。在此，第1汇流条连接到第1电位。第2汇流条连接到第2电位，且位于在第1方向上与所述第1汇流条隔着间隔的位置处。多个第1电极指与所述第1汇流条连接，且向所述第2汇流条侧延伸。多个第2电极指与所述第2汇流条连接，且向所述第1汇流条侧延伸。第1虚拟电极指与所述第1汇流条连接，且隔着间隙与所述第2电极指的前端对置。第2虚拟电极指与所述第2汇流条连接，且隔着间隙与所述第1电极指的前端对置。支承基板接合在所述基板的下表面，且厚度比所述基板厚，并由线膨胀系数比所述基板小的材料构成。并且，所述第1电极指、所述第2电极指、所述第1虚拟电极指以及所述第2虚拟电极指中的至少一个在被连接多个所述第1电极指的所述前端的第1假想线和连接多个所述第2电极指的所述前端的第2假想线包围的交叉区域的外侧，比所述交叉区域内的所述第1电极指以及所述第2电极指的粗细还粗。

本公开的一方式涉及的弹性波装置具备：上述弹性波元件；以及安装该弹性波元件的电路基板。

发明效果

根据上述结构，能够提供一种抑制了损耗产生的弹性波元件以及弹性波装置。

附图说明

图1是本发明的弹性波元件的俯视图。

图2(a)是图1的IIa-IIa线处的主要部分剖视图。图2(b)是由图1的虚线包围的区域的主要部分放大图。

图3(a)是表示使用了贴合基板时的间隙与谐振器的相位特性的关系的线图，图3(b)是表示使用了单一基板时的间隙与谐振器的相位特性的关系的线图。

图4是表示图1的SAW元件的变形例的俯视图。