[发明专利]有机皮膜的制造方法、导电性基板的制造方法、有机皮膜制造装置

说明书

提供一种有机皮膜的制造方法，对片状的基材的表面供给有机溶液并形成有机皮膜，其中，针对以所述基材的宽度方向为高度方向而输送的所述基材的表面，从喷嘴和液膜形成单元供给所述有机溶液，所述喷嘴以与所述基材的表面相对的方式设置有多个喷嘴孔，所述液膜形成单元具有在所述基材的高度方向的上部设置的供给口，所述液膜形成单元以所述有机溶液成为膜状的液流的方式、并且以所述基材的表面与所述有机溶液的膜状的液流接触的方式从所述供给口供给所述有机溶液。

技术领域

本发明涉及一种有机皮膜的制造方法、导电性基板的制造方法、有机皮膜制造装置。

背景技术

电容式触控面板通过对由接近面板表面的物体所引起的电容的变化进行检测，从而将在面板表面上接近的物体的位置信息转换成电信号。由于用于电容式触控面板的导电性基板设置在显示器的表面上，因此对于导电性基板的导电层的材料要求其反射率较低、难以视觉确认。

因此，作为用于电容式触控面板的导电层的材料，使用反射率较低、难以视觉确认的材料，在透明基板或透明的薄膜上形成配线。

例如，专利文献1中公开了一种电容型数字式触控面板，其触控面板部由在PET薄膜上利用ITO膜印刷有信号图案和GND图案的多个透明片电极构成。

然而，近些年具有触控面板的显示器的大画面化正在进展，与其对应地，对于触控面板用的导电性基板也正在寻求大面积化。然而，ITO由于其电阻值较高且易产生信号的劣化，因此存在使用ITO的导电性基板不适合大型面板的问题。

因此，作为导电层的材料，正在研究使用铜等金属来代替ITO。然而，由于金属具有金属光泽，存在因反射而使显示器的可视性降低的问题，因此正在研究形成有由铜等金属和黑色的材料共同构成的黑化层的导电性基板。

例如专利文献2中公开了一种薄膜状触控面板传感器，其在薄膜表面和背面的需要透视的部分分别具备条状铜配线，并在表面和背面的铜配线的可视侧具有黑色的氧化铜皮膜。

此外，依据专利文献2所公开的薄膜状触控面板传感器的制造方法，设成具有在被薄膜所支撑的铜薄膜上形成抗蚀剂层的步骤、利用光刻法至少将抗蚀剂层加工成条状配线图案和引出用配线图案的步骤、利用蚀刻将露出的铜薄膜除去并形成条状铜配线和引出用铜配线的步骤、以及对铜配线进行黑化处理的步骤。

然而，在专利文献2所示的在形成铜配线后对其表面进行黑化处理的方法中，步骤数变多。因此，正在研究一种方法，其在基材上形成金属层以及对其表面进行黑化处理的黑化层之后，利用蚀刻等对金属层及黑化层进行图案化，并形成导电性基板。

并且，为了使对金属层进行图案化的金属配线进一步不显眼，进行金属层及在其上表面上形成的黑化层的细微配线加工较为有效。然而，黑化层针对蚀刻液的反应性较低，当为了进行细微配线加工而对金属层及黑化层进行蚀刻时，有时黑化层会剥离。

因此，正在研究通过在金属层与黑化层之间设置有机皮膜来提高黑化层的蚀刻性的方法。

有机皮膜可以通过在形成到金属层为止的基材的金属层表面上涂布作为有机皮膜的原料的有机溶液而形成，通过在形成有机皮膜后在有机皮膜上形成黑化层，从而能够形成在金属层与黑化层之间设置有机皮膜的结构。

以往，本发明的发明人利用下述方法来进行有机皮膜的形成。

首先，一边以形成到金属层为止的基材的宽度方向为高度方向对基材进行输送，一边使从基材的高度方向的上部供给有机溶液而形成的膜状的有机溶液的液流与金属层表面接触从而在金属层表面上涂布有机溶液。接着，通过对涂布了有机皮膜的面进行水洗将多余的有机溶液除去后，进行干燥。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国特开2004-213114号公报