[发明专利]光照射装置

权利要求书

1.一种光照射装置，其特征在于，具备：

工作台，其供对象物载置；以及

光照射部，其具有光源和导光构件，该导光构件对从所述光源照射出的光进行导光，且具有被供给所述光源的光的光入射部、以及呈大致带状地设置于所述工作台的上方且朝所述工作台照射光的光射出部。

2.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，

所述导光构件是捆扎多个光纤而成的光纤线缆，

所述光纤线缆中的第一端是所述光入射部，

所述光纤线缆中的除所述第一端以外的第二端未将所述多个光纤捆扎，而以长边方向沿着与所述对象物的扫描方向大致正交的方向的方式将所述多个光纤呈大致带状地排列，由此构成所述光射出部。

3.根据权利要求2所述的光照射装置，其特征在于，

所述光纤线缆具有第一光纤线缆以及第二光纤线缆，

所述光射出部具有作为所述第一光纤线缆的一端的第一光射出部、以及作为所述第二光纤线缆的一端的第二光射出部，

所述第一光射出部与所述第二光射出部沿着所述扫描方向隔开间隙地排列，

在从所述第一光射出部朝所述对象物照射的光与从所述第二光射出部朝所述对象物照射的光中，光的强度、偏振的方向以及偏振的有无中的至少一个不同。

4.根据权利要求3所述的光照射装置，其特征在于，

所述光照射装置具备加热部，该加热部对所述对象物进行加热，且设置于所述第一光射出部与所述第二光射出部之间，

从所述第一光射出部朝所述对象物照射的光是偏振光，从所述第二光射出部朝所述对象物照射的光是未被偏振的光。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的光照射装置，其特征在于，

所述光照射装置具备移动部，该移动部使所述光射出部沿着所述扫描方向移动。

6.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，

所述导光构件是以作为所述光射出部的背面与所述工作台对置的方式设置的大致带状的导光板，

所述光源以朝向作为所述光入射部的所述导光板的第一侧面照射光的方式与所述第一侧面相邻地设置，

所述导光板以长边方向沿着与所述对象物的扫描方向大致正交的方向的方式设置，

所述导光板的表面以及除所述第一侧面以外的侧面由遮光构件或者光反射构件覆盖。

7.根据权利要求6所述的光照射装置，其特征在于，

在所述背面设置有随着距所述光源的距离变远而面积变小的遮光构件。

8.根据权利要求6或7所述的光照射装置，其特征在于，

所述光源与所述第一侧面以及第二侧面分别相邻地设置，所述第二侧面与所述第一侧面对置。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的光照射装置，其特征在于，

所述光照射装置具备移动部，该移动部使所述光照射部沿着所述扫描方向移动。