[发明专利]柔性MEMS印刷电路板单元以及声换能器组装件

权利要求书

1.一种用于在可听波长谱中生成和/或检测声波的声换能器组装件(20)的MEMS印刷电路板单元，所述MEMS印刷电路板单元具有：

印刷电路板(2)，以及

多层压电结构(3)，藉由所述多层压电结构(3)，膜(22)可被设置成振荡和/或所述膜(22)的振荡可被检测到，

其特征在于，

所述印刷电路板(2)被设计成柔性的，

所述多层压电结构(3)被嵌入到所述印刷电路板(2)中，以及

其中所述MEMS印刷电路板单元(1)进一步包括至少一个第一间隙(7)，所述第一间隙(7)以使得所述结构(3)在其边缘区域中被切断的方式来设计。

2.根据权利要求1所述的MEMS印刷电路板单元，其特征在于，所述结构(3)

是致动器结构和/或传感器结构，和/或

所述结构(3)、ASIC(18)、和/或至少一个附加无源电子组件(18)被集成到所述印刷电路板(2)中和/或被所述印刷电路板(2)完全封装。

3.根据权利要求1所述的MEMS印刷电路板单元，其特征在于，所述结构(3)包括由金属制成的至少一个支撑层(14)，所述支撑层(14)以具有2μm到50μm之间的厚度为特征。

4.根据权利要求3所述的MEMS印刷电路板单元，其特征在于，所述金属是铜。

5.根据权利要求3所述的MEMS印刷电路板单元，其特征在于，所述结构(3)以具有至少一个压电层(13)为特征，所述压电层(13)电耦合到所述支撑层(14)，其中所述支撑层(14)形成电极层(15)，或所述电极层(15)与所述支撑层(14)藉由布置在所述电极层(15)与所述支撑层(14)之间的绝缘层(29)来电解耦。

6.根据权利要求5所述的MEMS印刷电路板单元，其特征在于，所述压电层(13)是压电致动器层。

7.根据权利要求1所述的MEMS印刷电路板单元，其特征在于，所述结构(3)可相对于所述印刷电路板(2)的锚定区域(32)偏转，和/或通过至少一个柔性连接元件(4)来连接到紧固区域(5)，耦合元件(21)可被紧固到所述紧固区域(5)，其中所述膜(22)通过所述耦合元件(21)来连接到所述结构(3)。

8.根据权利要求1所述的MEMS印刷电路板单元，其特征在于，所述印刷电路板(2)以具有至少一个电触点(9)为特征，所述至少一个电触点(9)用于将所述MEMS印刷电路板单元(1)电连接到所述声换能器组装件(20)的第二组件。

9.根据权利要求8所述的MEMS印刷电路板单元，其特征在于，所述第二组件是刚性印刷电路板单元(16)。

10.根据权利要求7所述的MEMS印刷电路板单元，其特征在于，所述印刷电路板(2)以具有用于将所述MEMS印刷电路板单元(1)电连接到外部设备的至少一个外部触点(8)为特征。

11.根据权利要求1所述的MEMS印刷电路板单元，其特征在于，所述印刷电路板(2)从柔性聚合物形成和/或包括由编织碳纤维或由编织金属路径制成的编织弹性触点路径(6)。

12.根据权利要求10所述的MEMS印刷电路板单元，其特征在于，所述MEMS印刷电路板单元(1)以具有主区域(10)、触点区域(12)、和/或布置在所述主区域(10)与所述触点区域(12)之间的扭结/弯曲区域(11)为特征，所述结构(3)、所述至少一个柔性连接元件(4)、和/或所述紧固区域(5)布置在所述主区域(10)中，所述外部触点(8)布置在所述触点区域(12)中，其中所述扭结/弯曲区域(11)被设计成比所述主区域(10)更加弹性，所述扭结/弯曲区域(11)仅包括编织触点路径(6)和/或使得弯曲或扭结能够多达90°。