[发明专利]光学元件的评价值计算方法、评价值计算装置以及记录介质

权利要求书

1.一种光学元件的评价值计算方法，其中，包含如下步骤：

针对光学元件的被检面取得作为与设计值之间的偏差的形状误差；

针对所述光学元件的各位置i，取出所取得的形状误差中的被包含在如下范围内的值的权重函数的成分，该范围是以各位置i为中心且半径u的2倍的范围，该半径u比有效半径小；以及

根据所取出的各位置i的权重函数的成分来计算评价值，

使用以位置i为基准的相对位置k，将所述权重函数定义为下式所示的函数W_M[k]，

W_M[k]＝k²×N[k]+A(-u≦k≦u)

W_M[k]＝0(k<-u或者u<k)

其中，对于N[k]，0≦N[-u]，且N[k]在处于-u≦k≦0的范围时是单调增加的偶函数，A是用于使Σ_kW_M[k]＝0的常数项，对于W_M[k]的二阶导函数W_M”[k]，-W_M”[0]≦W_M”[-u]，且W_M”[0]≧0，u是正数。

2.根据权利要求1所述的光学元件的评价值计算方法，其中，

在所述进行取出的步骤中，

通过计算所述值与所述权重函数的内积而取出所述权重函数的成分。

3.根据权利要求2所述的光学元件的评价值计算方法，其中，

所述权重函数在所述内积下与零次函数和一次函数正交。

4.根据权利要求2或3所述的光学元件的评价值计算方法，其中，

所述权重函数是余弦函数。

5.根据权利要求4所述的光学元件的评价值计算方法，其中，

所述权重函数在所述半径u的2倍的范围内具有半个周期至1个周期的余弦成分。

6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的光学元件的评价值计算方法，其中，

在所述相对位置k为零时，该权重函数的二阶微分最大，且在该相对位置k为-u或者u时，该权重函数的二阶微分成为零或者接近零的值，或者，在该相对位置k为零时，该权重函数的二阶微分最大，且在该相对位置k为-u或者u时，该权重函数的一阶微分成为零或者接近零的值。

7.根据权利要求1～6中的任意一项所述的光学元件的评价值计算方法，其中，

所述半径u是入射到所述被检面的光束的半径。

8.根据权利要求1～6中的任意一项所述的光学元件的评价值计算方法，其中，

在所述光学元件为在至少一部分使用状态下光束直径大于有效直径的50％的光学元件时，将所述半径u设定为光束直径最大时的光束半径的10％以下的值。

9.根据权利要求1～8中的任意一项所述的光学元件的评价值计算方法，其中，包含如下步骤：

对所述被检面至少赋予位置信息和与位置信息对应的光轴方向的成分量；以及

根据所赋予的位置信息和成分量来设定所述权重函数。

10.一种光学元件的评价值计算程序，其中，

所述光学元件的评价值计算程序用于使计算机执行权利要求1～9中的任意一项所述的评价值计算方法。