[发明专利]SiOx过滤单元和用于操作所述SiOx过滤单元的方法

权利要求书

1.用于Si单晶锭生长的卓克拉尔斯基拉晶仪设备，其包括卓克拉尔斯基拉晶仪(3)、SiOx粉尘过滤器系统(5)、和连接至所述SiOx粉尘过滤器系统(5)下游的真空泵(9)，SiOx粉尘过滤器系统(5)包括

-至少一个第一过滤支路(13)，其具有：第一SiOx过滤器单元(15)，第一SiOx过滤器单元(15)呈现包含于容器(41)中的可更换的过滤器(17)，容器(41)包括容许在过滤器更换期间将容器(41)中的压力提高至大气压的容器阀；用于在过滤器更换期间隔离第一SiOx过滤器单元(15)的第一上游阀(19)和第一下游阀(21)，

-至少一个第二过滤支路(23)，其具有：第二SiOx过滤器单元(25)，第二SiOx过滤器单元(25)呈现包含于容器(43)中的可更换的过滤器(27)，容器(43)包括容许在过滤器更换期间将容器(43)中的压力提高至大气压的容器阀(47)；用于在过滤器更换期间隔离第二SiOx过滤器单元(25)的第二上游阀(29)和第二下游阀(31)，

第一过滤支路(13)和第二过滤支路(23)平行地设置并且连接至在第一上游阀(19)和第二上游阀(29)上游的共用的第一连接点(33)和在第一下游阀(21)和第二下游阀(31)下游的共用的第二连接点(35)，其中第一过滤支路(13)和第二过滤支路(23)通过用于在所述第一过滤支路(13)和第二过滤支路(23)之间压力平衡的具有针阀(39)的旁通支路(37)连接。

2.根据权利要求1的卓克拉尔斯基拉晶仪设备，其中第一过滤器单元(15)和第二过滤器单元(25)分别包括SiOx过滤筒作为过滤器(17；27)。

3.根据权利要求1或2的卓克拉尔斯基拉晶仪设备，其中针阀(39)配置成被控制在抑制在第一过滤支路(13)和第二过滤支路(23)之间的气体流动的关闭位置和至少一个容许气体在所述第一过滤支路(13)和第二过滤支路(23)之间流动的打开位置之间。

4.根据权利要求3的卓克拉尔斯基拉晶仪设备，其中共用的第二连接点(35)配置成连接至真空泵(9)，所述真空泵(9)具有最大泵送流量，并且针阀(39)配置成在所述打开位置中让如下气体流量通过：其足以使所述第一SiOx过滤器单元(15)和第二SiOx过滤器单元(25)之一中的压力降低，同时在卓克拉尔斯基拉晶仪(3)处的压力变化保持在卓克拉尔斯基拉晶过程的可接受的容许极限内。

5.根据权利要求1-4任一项的卓克拉尔斯基拉晶仪设备，其中旁通支路(37)连接至位于第一过滤支路(13)的第一SiOx过滤器单元(15)和第一上游阀(19)之间的第三连接点(38)和位于第二过滤支路(23)的第二SiOx过滤器单元(25)和第二上游阀(31)之间的第四连接点(40)。

6.用于来自卓克拉尔斯基拉晶仪的尾气的SiOx粉尘过滤器系统(5)，其包括：

-至少一个第一过滤支路(13)，其具有：第一SiOx过滤器单元(15)，第一SiOx过滤器单元(15)呈现包含于容器(41)中的可更换的过滤器(17)，容器(41)包括容许在过滤器更换期间将容器(41)中的压力提高至大气压的容器阀；用于在过滤器更换期间隔离第一SiOx过滤器单元(15)的第一上游阀(19)和第一下游阀(21)，

-至少一个第二过滤支路(23)，其具有：第二SiOx过滤器单元(25)，第二SiOx过滤器单元(25)呈现包含于容器(43)中的可更换的过滤器(27)，容器(43)包括容许在过滤器更换期间将容器(43)中的压力提高至大气压的容器阀(47)；用于在过滤器更换期间隔离第二SiOx过滤器单元(25)的第二上游阀(29)和第二下游阀(31)，

第一过滤支路(13)和第二过滤支路(23)平行地设置并且连接至在第一上游阀(19)和第二上游阀(29)上游的共用的第一连接点(33)和在第一下游阀(21)和第二下游阀(31)下游的共用的第二连接点(35)，其中第一过滤支路(13)和第二过滤支路(23)通过用于在所述第一过滤支路(13)和第二过滤支路(23)之间压力平衡的具有针阀(39)的旁通支路(37)连接。

7.用于操作根据权利要求1-5任一项的卓克拉尔斯基拉晶仪设备的方法，其包括以下步骤：

-关闭针阀(39)以及一个过滤支路(13)的上游阀(19)和下游阀(21)以隔离SiOx过滤器单元(15)，另一过滤支路(23)的上游阀(29)和下游阀(31)处于打开位置，

-打开容器阀(45)以使所述SiOx过滤器单元(15)的容器(41)处于大气压，-打开容器(41)和更换被隔离的SiOx过滤器单元(15)的过滤器(17)，

-关闭所述容器阀(45)和所述容器(41)，

-打开所述针阀(39)以在两个过滤支路(13,23)之间压力平衡，

-打开所述下游阀(21)以在两个过滤支路(13,23)之间保持相等的压力，

-关闭所述针阀(39)。