[发明专利]承载环、磨削装置及磨削方法

权利要求书

1.一种磨削装置，磨削具有槽口的外形为圆形的晶圆，其特征在于，具备：

承载环，具有能够支承所述晶圆的支承孔，形成为该支承孔的中心相对于该承载环的中心偏心的圆形，

旋转机构，以所述承载环的中心为旋转轴来旋转该承载环；

圆板状的轮座，中央设置有贯通该轮座的两面的磨削液供给孔；

多个磨石，磨削所述晶圆，

所述支承孔的中心相对于所述承载环的中心的偏心量为所述晶圆的直径的1.7%以下，

所述轮座的直径比所述支承孔的直径小，

所述多个磨石沿所述轮座的一面的外缘以指定间隔设置。

2.一种磨削方法，是磨削具有槽口的外形为圆形的晶圆的磨削方法，其特征在于，具备下述工序：

向圆板状的承载环利用支承孔支承所述晶圆的工序，所述支承孔形成为圆形且相对于该承载环的中心该支承孔的中心偏心；

以所述承载环的中心为旋转轴来旋转该承载环的工序；

两个磨削轮分别配置为与保持于所述承载环的所述晶圆的两面相对，令所述两个磨削轮一边向相互相反的方向旋转一边按压于所述晶圆的两面而磨削所述晶圆，

所述磨削轮具有圆板状的轮座和多个磨石，所述轮座在中央设置有贯通两面的磨削液供给孔，所述多个磨石沿所述轮座的一面的外缘以指定间隔设置，所述轮座的直径比所述支承孔的直径小，

所述支承孔的中心相对于所述承载环的中心的偏心量为所述晶圆的直径的1.7%以下。