[发明专利]薄膜型太阳能电池及其制造方法

权利要求书

1.一种薄膜型太阳能电池，包括：

基板；

第一透明电极，所述第一透明电极设置在所述基板上，所述第一透明电极具有第一分隔部；

半导体层，所述半导体层形成在所述第一分隔部中和所述第一透明电极上；

接触部，所述接触部形成为穿过所述第一透明电极和所述半导体层；

第二透明电极，所述第二透明电极形成在所述接触部中和所述半导体层上；以及

第二分隔部，所述第二分隔部形成为穿过所述半导体层和所述第二透明电极，

其中，所述接触部的晶粒的尺寸小于所述第一透明电极的晶粒的尺寸。

2.一种薄膜型太阳能电池，包括依次形成在基板上的第一透明电极、半导体层以及第二透明电极，其中，所述第二透明电极通过穿过所述半导体层和所述第一透明电极而接触所述基板，并且所述第二透明电极的晶粒的尺寸小于所述第一透明电极的晶粒的尺寸。

3.一种薄膜型太阳能电池，包括依次形成在基板上的第一透明电极、半导体层以及第二透明电极，其中，所述第二透明电极通过穿过所述半导体层和所述第一透明电极而接触所述基板，并且所述第一透明电极的反射率高于所述第二透明电极的反射率。

4.一种薄膜型太阳能电池，包括依次形成在基板上的第一透明电极、半导体层以及第二透明电极，其中，所述第二透明电极通过穿过所述半导体层和所述第一透明电极而接触所述基板，并且所述第二透明电极的氧浓度高于所述第一透明电极的氧浓度。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的薄膜型太阳能电池，其中，所述第二透明电极接触所述第一透明电极的侧表面。

6.根据权利要求1所述的薄膜型太阳能电池，其中，所述第二透明电极在所述接触部中接触所述基板的顶部。

7.根据权利要求1所述的薄膜型太阳能电池，其中，所述接触部的宽度比所述第一分隔部的宽度和所述第二分隔部的宽度宽。

8.一种薄膜型太阳能电池，包括形成在基板上的前电极、半导体层以及后电极，其中，所述前电极包括具有第一晶粒尺寸的第一区域、以及具有比所述第一晶粒尺寸小的第二晶粒尺寸的第二区域，并且所述第二区域连接到所述后电极。

9.根据权利要求8所述的薄膜型太阳能电池，其中，所述第二区域和所述后电极由相同的透明导电材料形成并形成为一体。

10.一种薄膜型太阳能电池的制造方法，包括：

在基板上形成第一透明电极层的工序；

去除所述第一透明电极层的特定区域以形成第一分隔部的工序，由此形成多个第一透明电极，所述多个第一透明电极彼此间隔开，在所述多个第一透明电极之间具有所述第一分隔部；

在所述多个第一透明电极上形成半导体层的工序；

去除所述半导体层和所述多个第一透明电极的特定区域以形成接触部的工序，由此形成多个半导体图案，所述多个半导体图案彼此间隔开，在所述多个半导体图案之间具有所述接触部；

在所述多个半导体图案上形成第二透明电极层的工序；以及

去除所述多个半导体图案和所述第二透明电极层中的每一者的特定区域以形成第二分隔部的工序，由此形成多个第二透明电极，所述多个第二透明电极通过所述接触部连接到所述多个第一透明电极并且彼此间隔开，所述多个第二透明电极之间具有所述第二分隔部。

11.根据权利要求10所述的薄膜型太阳能电池的制造方法，其中，所述多个第二透明电极在所述接触部中接触所述多个第一透明电极的侧表面和所述基板的顶部。

12.根据权利要求10所述的薄膜型太阳能电池的制造方法，其中，所述接触部的宽度比所述第一分隔部的宽度和所述第二分隔部的宽度宽。