[发明专利]有机锡氧化物氢氧化物图案化组合物、前驱物及图案化

权利要求书

1.一种涂层溶液，其包含：

有机溶剂；

由下式表示的第一有机金属组合物：式R_zSnO_{(2-(z/2)-(x/2))}(OH)_x，其中0z≤2且0(z+x)≤4；其中R为具有1-31个碳原子的烃基，且R通过C-Sn键结合至Sn；和

由式MX'_v表示的可水解金属化合物，其中M为金属，选自由Hf、Zr、W、Ta、Co、Ni、In、Bi、Te和Sn组成的组，v＝2至6的数字；且X'是通过可水解M-O或M-N键与M结合的配位体或其组合。

2.如权利要求1所述的涂层溶液，其中M为Sn且v＝4。

3.如权利要求2所述的涂层溶液，其中2摩尔百分比至40摩尔百分比的Sn存在于所述可水解金属化合物中。

4.如权利要求1所述的涂层溶液，所述涂层溶液中具有0.0025M至1.5M的锡。

5.如权利要求1-4中任一项所述的涂层溶液，其中X'选自由以下各者组成的组：烷基酰胺基或二烷基酰胺基(-NR¹R²，其中R¹和R²独立地为具有1至10个碳原子之烃基或氢)、硅氧代基(-OSiR¹R² R³，其中R¹和R²独立地为具有1至10个碳原子的烃基)、硅烷基酰胺基(-N(SiR¹₃)(R²)，其中R¹和R²独立地为具有1至10个碳原子的烃基)、二硅烷基酰胺基(-N(SiR¹₃)(SiR²₃)，其中R¹和R²独立地为具有1至10个碳原子的烃基)、烷基氧代基和芳基氧代基(-OR，其中R为具有1至10个碳原子的烷基或芳基)、叠氮基(-N₃)、酰胺基(-NR¹(COR²)，其中R¹和R²独立地为具有1至7个碳原子的烃基或氢)、脒基(-NR¹C(NR²)R³)，其中R¹和R²独立地为具有1至8个碳原子的烃基或氢)、酰亚胺基(-N(COR¹)(COR²)，其中R¹和R²独立地为具有1至8个碳原子的烃基或氢)或其氟化类似物或其组合。

6.如权利要求1-4中任一项所述的涂层溶液，其中X'为-NR¹R²或-OR³配位体，其中R¹、R²和R³为C1-C10烷基或环烷基或其组合。

7.如权利要求1-4中任一项所述的涂层溶液，其中R为甲基、乙基、异丙基、正丁基、仲丁基或叔丁基。

8.如权利要求1-4中任一项所述的涂层溶液，其中所述有机溶剂为醇类、酯类或其混合物。

9.如权利要求1或2所述的涂层溶液，其中第一有机金属组合物与可水解金属化合物的摩尔比大于1。