[发明专利]长条基板的卷取方法、卷取装置以及表面处理装置有效
| 申请号： | 201680060570.7 | 申请日： | 2016-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN108367873B | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 丹波裕规 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山股份有限公司 |
| 主分类号： | B65H18/28 | 分类号： | B65H18/28;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;孙荀 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 长条 卷取 方法 装置 以及 表面 处理 | ||
1.一种长条基板的卷取方法，将以卷对卷方式搬送的长条基板卷取于圆筒状的卷取芯，其特征在于：
当将上述长条基板卷取于该卷取芯时，以上述长条基板的宽度方向两端部较宽度方向中央部相对该卷取芯的旋转中心轴位于较远处的方式进行卷取；
接触上述卷取芯的外周面被最先卷取的上述长条基板的前端部，以上述长条基板的宽度方向两端部较其宽度方向中央部相对该卷取芯的旋转中心轴位于50～200μm远处的方式进行卷取；
上述卷取芯的外径为8～25cm；
于减压环境下将上述长条基板卷取。
2.一种长条基板的卷取装置，将以卷对卷方式搬送的长条基板卷取于圆筒状的卷取芯，其特征在于：
于该卷取芯的外周面上卷取长条基板的宽度方向两端部的部位，分别设有于周方向连续延伸的凸状的高低差部；
上述凸状的高低差部的高低差为50～200μm；
上述卷取芯的外径为8～25cm；
于减压环境下将上述长条基板卷取。
3.根据权利要求2所述的长条基板的卷取装置，其中，除上述凸状的高低差部外，上述卷取芯的外周面具有大致相同的外径。
4.一种长条基板的表面处理装置，具备对在真空腔室内以卷对卷方式搬送的长条基板施以表面处理的表面处理装置、及对经表面处理的上述长条基板进行卷取的圆筒状的芯构成的卷取装置，其特征在于：
上述卷取装置是权利要求2或3所述的长条基板的卷取装置。
5.一种卷对卷溅镀装置，其特征在于：权利要求4所述的表面处理装置是溅镀阴极。
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