[发明专利]衬底处理装置

权利要求书

1.一种衬底处理装置，其特征在于，包括：

具有内部空间的套管组合件，在所述内部空间中通过层压多个层压板来处理及组装多个衬底，所述多个层压板中的每一个包括注入部分及排气孔；

衬底固持器，其配置成以多极方式将所述多个衬底支撑在所述内部空间中；

供应管线，其连接到所述多个层压板的一个注入部分以供应处理气体；以及

排气管线，其连接到多个排气孔中的一个以排出所述处理气体，

其中所述多个层压板中的每一个包括：

具有表面积的板；

中空部分，其提供于所述板的中心部分中以使得所述衬底固持器能够移动；以及

多个突起部分，其中每一个在所述板的圆周上从第一表面及第二表面中的至少一个表面突出，所述第一表面及所述第二表面面向彼此，

其中所述注入部分包括：

具有向其中供应所述处理气体的扩散空间的主体，且所述主体的至少一部分打开以使得所述处理气体从所述主体的面向所述排气孔的一侧注入；以及

引导构件，设置在所述主体上以调整所述处理气体的流动。

2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，所述注入部分设置在所述板的一侧上，及

所述突起部分包括：

一对第一突起构件，其在横越用以将所述处理气体流从所述板的一侧注入到另一侧的所述处理气体的注入方向的方向上在所述板的两侧上彼此间隔开；以及

一对第二突起构件，其连接到所述第一突起构件及在所述处理气体的所述注入方向上彼此间隔开。

3.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，所述主体能够分离地插入到所述突起部分中及安放在所述板中。

4.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，所述引导构件以多个提供以便在横越所述处理气体的注入方向的方向上彼此间隔开。

5.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，供应孔限定在所述板及所述主体中的每一个中，及

所述板的所述供应孔与所述主体的所述供应孔对齐以提供所述处理气体移动经过的路径。

6.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，所述主体与所述突起部分集成，及

所述注入部分进一步包括在所述主体的一侧中限定的主要注入孔及在所述主体的一侧中限定并与所述主要注入孔间隔开的辅助注入孔。

7.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，多个隔板提供在所述衬底固持器中，所述多个隔板分割在其中处理所述多个衬底中的每一个的处理空间，及

所述注入部分在所述隔板之间注入所述处理气体。