[发明专利]自动化的延迟线对准

权利要求书

1.一种用于在光谱测量装置中对准光束的系统，所述系统包括：

第一电动双轴反射镜，所述第一电动双轴反射镜定位成接收和传输光束；

第二电动双轴反射镜，所述第二电动双轴反射镜相对于第一电动双轴反射镜定位以接收来自第一电动双轴反射镜的光束并且将光束传输到延迟线；

所述延迟线包括安装在计算机控制的电动线性平移台上的光学后向反射器组件，所述光学后向反射器组件沿着轨道平移；

为分束器的第三反射镜，所述第三反射镜定位成接收来自延迟线的光束并且将所述光束传输到检测器；和

基于计算机的处理器，所述基于计算机的处理器与检测器和第一电动双轴反射镜和第二电动双轴反射镜通信，所述处理器配置为：

a)接收并且处理与来自检测器的与光束相关的数据；

b)基于与光束相关的数据如下引起第一电动双轴反射镜移动以改变第一电动双轴反射镜的角度

(1)沿着垂直轴以第一角度移动第一电动双轴反射镜到第一位置以将光束传输到检测器，记录检测器上的第一光束位置，并且将所述第一光束位置传输到基于计算机的处理器；

(2)沿着水平轴以第二角度将第一电动双轴反射镜从第一位置移动到第二位置以将光束传输到检测器，记录检测器上的第二光束位置，并且将所述第二光束位置传输到基于计算机的处理器；和

c)基于与光束相关的数据如下引起第二电动双轴反射镜移动以改变第二电动双轴反射镜的角度

(1)沿着垂直轴以第一角度移动第二电动双轴反射镜到第三位置以将光束传输到检测器，记录检测器上的第三光束位置，并且将所述第三光束位置传输到基于计算机的处理器；

(2)沿着水平轴以第二角度将第二电动双轴反射镜从第三位置移动到第四位置以将光束传输到检测器，记录检测器上的第四光束位置，并且将所述第四光束位置传输到基于计算机的处理器。

2.一种用于在光谱测量装置中对准光束的方法，所述方法包括：

a)确定对准系统的光学部件之间的距离，所述光学部件包括用于将光束传输到延迟线的第一电动双轴反射镜和第二电动双轴反射镜，检测器，以及用于将光束传输到检测器的第三反射镜；

b)在延迟线处于第一轨道位置并且第一电动双轴反射镜和第二电动双轴反射镜中的每一个都设置为第一角度的情况下，通过所述第一电动双轴反射镜和第二电动双轴反射镜将光束传导至延迟线，使得通过第三反射镜将离开延迟线的光束传输到检测器；

c)将检测器上的第一光束位置传输到基于计算机的处理器；

d)如下建立第一电动双轴反射镜的角度与检测器上的光束位置之间的关系

(1)沿着垂直轴以第一角度移动第一电动双轴反射镜到第一位置以将光束传输到检测器，记录检测器上的第一光束位置，并且将所述第一光束位置传输到基于计算机的处理器；

(2)沿着水平轴以第二角度将第一电动双轴反射镜从第一位置移动到第二位置以将光束传输到检测器，记录检测器上的第二光束位置，并且将所述第二光束位置传输到基于计算机的处理器；

e)如下建立第二电动双轴反射镜的角度与检测器上的光束位置之间的关系

(1)沿着垂直轴以第一角度移动第二电动双轴反射镜到第三位置以将光束传输到检测器，记录检测器上的第三光束位置，并且将所述第三光束位置传输到基于计算机的处理器；

(2)沿着水平轴以第二角度将第二电动双轴反射镜从第三位置移动到第四位置以将光束传输到检测器，记录检测器上的第四光束位置，并且将所述第四光束位置传输到基于计算机的处理器；

f)建立延迟线的轨道位置与检测器上的光束位置之间的关系；和

g)调整第一电动双轴反射镜和第二电动双轴反射镜的角度以将光束传输到检测器上对应于期望的光束矢量的光束位置。

3.根据权利要求2所述的方法，其进一步包括通过记录在延迟线的不同轨道位置处检测器上的光束位置来验证光束的光束对准。

4.根据权利要求2所述的方法，在步骤f)之后，该方法进一步包括：

g)确定检测器上的光束位置如何取决于所述第一电动双轴反射镜和第二电动双轴反射镜的角度以及延迟线的轨道位置。