[发明专利]显示基板、显示装置以及显示基板的制造方法在审
申请号: | 201680062000.1 | 申请日: | 2016-11-01 |
公开(公告)号: | CN108352139A | 公开(公告)日: | 2018-07-31 |
发明(设计)人: | 齐藤贵翁;神崎庸辅;中泽淳;伊东一笃;金子诚二 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | G09F9/30 | 分类号: | G09F9/30;G02F1/1345;G09F9/00 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 汪飞亚;习冬梅 |
地址: | 日本国大*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 栅极绝缘膜 显示基板 第一层 绝缘膜端部 玻璃基板 平坦化膜 输入端子部 显示装置 倾斜状 板面 阵列基板 布线部 绝缘膜 制造 横跨 | ||
1.一种显示基板,其特征在于,包括:
基板,其被区分为能够显示图像的显示区域和以包围所述显示区域的形式配置于外周侧的非显示区域;
多个端子部,其配置于所述非显示区域;
第一绝缘膜,其为以跨越所述显示区域与所述非显示区域的形式配置且作为端部的第一绝缘膜端部配置于所述多个端子部与所述显示区域之间的第一绝缘膜,且所述第一绝缘膜端部相对于所述基板的板面成为倾斜状且至少一部分的倾斜角度为35°以下;
第二绝缘膜,其为以跨越所述显示区域与所述非显示区域的形式配置于所述第一绝缘膜的上层侧且作为端部的第二绝缘膜端部配置于所述多个端子部与所述显示区域之间的第二绝缘膜,且所述第二绝缘膜端部相对于所述基板的板面成为倾斜状且其倾斜角度大于所述第一绝缘膜端部的倾斜角度;以及
多个端子布线部,其由至少在所述非显示区域配置于所述第二绝缘膜的上层侧的金属膜构成,并跨越所述第一绝缘膜端部以及所述第二绝缘膜端部并且与所述多个端子部连接。
2.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,
所述第二绝缘膜由第一膜厚部、和相对于所述第一膜厚部配置于所述端子部一侧并且包含所述第二绝缘膜端部且膜厚比所述第一膜厚部薄的第二膜厚部构成。
3.根据权利要求1或2所述的显示基板,其特征在于,
所述第一绝缘膜的所述第一绝缘膜端部相对于所述基板的板面所成的倾斜角度遍及整个区域为35°以下。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的显示基板,其特征在于,
在所述第一绝缘膜的所述第一绝缘膜端部设置有配置于相邻的所述端子布线部之间且朝向所述端子部一侧突出的突起部,
所述第一绝缘膜端部中,至少所述突起部相对于所述基板的板面成为倾斜状且该倾斜角度为35°以下。
5.根据权利要求4所述的显示基板,其特征在于,
将所述第二绝缘膜端部的膜厚尺寸除以所述突起部从突出基端直至突出前端的突出尺寸的比率设为0.2以下。
6.一种显示装置,其特征在于,具备:
权利要求1~5中任一项所述的显示基板、和以与所述显示基板对置的形式配置的对置基板。
7.一种显示基板的制造方法,其特征在于,至少具备:
第一绝缘膜成膜工序,在该工序中,在被区分为能够显示图像的显示区域和以包围所述显示区域的形式配置于外周侧的非显示区域并在所述非显示区域配置有多个端子部的基板上,以跨越所述显示区域与所述非显示区域的形式使第一绝缘膜成膜;
第二绝缘膜成膜工序,在该工序中,以跨越所述显示区域与所述非显示区域的形式在所述第一绝缘膜的上层侧使第二绝缘膜成膜;
第二绝缘膜形成工序,在该工序中,使所述第二绝缘膜形成为作为端部的第二绝缘膜端部在所述多个端子部与所述显示区域之间相对于所述基板的板面成为倾斜状;
第一绝缘膜形成工序,在该工序中,经由所述第二绝缘膜而蚀刻所述第一绝缘膜,并形成为作为端部的第一绝缘膜端部在所述多个端子部与所述显示区域之间相对于所述基板的板面成为倾斜状且至少一部分的倾斜角度大于所述第二绝缘膜端部的倾斜角度且成为35°以下;
金属膜成膜工序,在该工序中,以跨越所述显示区域与所述非显示区域的形式在所述第二绝缘膜的上层侧使金属膜成膜;
抗蚀剂形成工序,在该工序中,在所述金属膜的上层侧形成抗蚀剂;以及
端子布线部形成工序,在该工序中,经由所述抗蚀剂而蚀刻所述金属膜,形成跨越所述第一绝缘膜端部以及所述第二绝缘膜端部并且与所述多个端子部连接的多个端子布线部。
8.根据权利要求7所述的显示基板的制造方法,其特征在于,
在所述第二绝缘膜成膜工序中,所述第二绝缘膜使用感光性材料而成膜,
所述第二绝缘膜形成工序至少包括:
曝光工序,其为作为掩模而使用包含透射区域以及半透射区域的半色调掩模或者灰色调掩模而使所述第二绝缘膜曝光的曝光工序,在该工序中,使用至少所述半透射区域配置于与第二绝缘膜端部的形成预定位置重叠的位置而成的所述半色调掩模或者所述灰色调掩模;和
显影工序,在该工序中,使所述第二绝缘膜显影。
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