[发明专利]流量传感器旁路回路中的可移除式高流阻抗模块

权利要求书

1.一种流元件，其包括：

流主体，其限定具有主要流阻力的主要流路径；以及

可移除式流模块，其限定具有旁路流阻力的旁路流路径的至少一部分，所述旁路流阻力比所述主要流阻力大得多，

其中所述流主体进一步限定旁路流入口和旁路流出口，所述旁路流入口和所述旁路流出口将所述旁路流路径流体连接到所述主要流路径。

2.根据权利要求1所述的流元件，其中所述旁路流阻力比所述主要流阻力大一千倍。

3.根据权利要求1所述的流元件，其中所述可移除式流模块包括：

模块主体，其具有衬底；

流通道，其在所述衬底中蚀刻且具有经蚀刻入口开口和经蚀刻出口开口；

加热器，其经配置以加热流动穿过所述流通道的流体；以及

至少一个膜温度传感器，其经配置以感测流动穿过所述流通道的流体的温度。

4.根据权利要求1所述的流元件，其中所述衬底是以下中的至少一个：半导体和玻璃。

5.根据权利要求1所述的流元件，其进一步包括压力降元件，所述压力降元件经配置以迫使流动穿过所述主要流路径的所述流体的一部分进入所述旁路流路径。

6.根据权利要求5所述的流元件，其中所述压力降元件集成到所述流主体中。

7.根据权利要求1所述的流元件，其进一步包括至少一个过滤器，所述至少一个过滤器安置于所述主要流路径和所述旁路流路径的由所述可移除式流模块限定的所述部分之间。

8.根据权利要求7所述的流元件，其中所述至少一个过滤器包括至少一个生物过滤器。

9.根据权利要求1所述的流元件，其中所述主要流路径是流元件入口和流元件出口之间的直线路径。

10.根据权利要求1所述的流元件，其中所述旁路流路径平行于所述主要流路径。

11.根据权利要求1所述的流元件，其中所述旁路流入口限定具有界面阻力的入口界面路径。

12.根据权利要求11所述的流元件，其中所述旁路流阻力比所述界面阻力大五十倍。

13.根据权利要求11所述的流元件，其中所述入口界面路径垂直于所述主要流路径。

14.根据权利要求11所述的流元件，其中所述入口界面路径相对于所述主要流路径成角度地延伸。

15.根据权利要求1所述的流元件，其进一步包括以下中的至少一个：湿度传感器和气压传感器。