[发明专利]用于场成像和/或光瞳成像的光学系统有效
申请号: | 201680062181.8 | 申请日: | 2016-08-31 |
公开(公告)号: | CN108351513B | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | H.门兹 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
主分类号: | G02B27/00 | 分类号: | G02B27/00;G02B13/14;G03F7/20 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王蕊瑞 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 成像 光学系统 | ||
1.一种用于场成像和/或光瞳成像的光学系统(10),该光学系统具有光轴(16;46)、光阑平面(18;38),像平面(20;40),以及透镜元件系统(11;37),该透镜元件系统被实施为傅里叶光学单元(12;36),该傅里叶光学单元具有四个透镜元件组(14a,b,c,d;42a,b,c,d),每个透镜元件组具有至少一个透镜元件,所述透镜元件组被安排成在该光阑平面(18;38)与该像平面(20;40)之间沿着该光轴(16;46)是彼此间隔开的,其中这四个透镜元件组(14a,b,c;42a,b,c)中的每一个具有第一透镜元件材料和/或与该第一透镜元件材料不同的第二透镜元件材料,其中,该傅里叶光学单元(12;36)的这四个透镜元件组(14a,c;42b,d)中的两个被实施为与场成像和/或光瞳成像的纵向色差有关的第一和第二颜色欠校正透镜元件组,其中,该傅里叶光学单元(12;36)的这四个透镜元件组(14b,d;42a,c)中的另外两个被实施为第一和第二颜色过校正透镜元件组,其中,该傅里叶光学单元(12;36)具有颜色欠校正透镜元件组和颜色过校正透镜元件组的交替序列,
其中,所述第一和第二颜色欠校正透镜元件组各具有正屈光力,并且所述第一和第二颜色过校正透镜元件组各具有负屈光力。
2.如权利要求1所述的光学系统,其中,该第一和/或该第二颜色欠校正透镜元件组(14a,c;42b,d)在各自情况下仅具有一个透镜元件。
3.如权利要求2所述的光学系统,其中,该第一和/或该第二颜色欠校正透镜元件组(14a,c;42b,d)在各自情况下具有具有正屈光力的会聚透镜元件(22)。
4.如权利要求1所述的光学系统,其中,该第一和/或该第二颜色欠校正透镜元件组(14a,c;42b,d)在各自情况下仅具有一种材料。
5.如权利要求4所述的光学系统,其中,该第一和/或该第二颜色欠校正透镜元件组(14a,c;42b,d)在各自情况下具有该第一或该第二透镜元件材料。
6.如权利要求1至5中任一项所述的光学系统,其中,该第一和/或该第二颜色过校正透镜元件组(14b,d;42a,c)各自具有至少两个透镜元件。
7.如权利要求6所述的光学系统,其中,该第一和/或该第二颜色过校正透镜元件组(14b,d;42a,c)各自具有具有正屈光力的会聚透镜元件(32)和具有负屈光力的发散透镜元件(34)。
8.如权利要求1至5中任一项所述的光学系统,其中,该第一和/或该第二颜色过校正透镜元件组(14b,d;42a,c)在各自情况下具有两种材料。
9.如权利要求8所述的光学系统,其中,该第一和/或该第二颜色过校正透镜元件组(14b,d;42a,c)在各自情况下具有该第一透镜元件材料和该第二透镜元件材料。
10.如权利要求1至5中任一项所述的光学系统,其中,如果物体和/或出射光瞳位于与该光阑平面(18;38)相距无限远距离处,则该光阑平面(18;38)和像场(20a;50)具有基本上相同的尺寸。
11.如权利要求1至5中任一项所述的光学系统,其中,在从该光阑平面(18)观看时,该第一颜色欠校正透镜元件组(14a)被布置在该第二颜色欠校正透镜元件组(14c)的上游并且在该第一和该第二颜色过校正透镜元件组(14b,d)的上游。
12.如权利要求1至5中任一项所述的光学系统,其中,该第一颜色欠校正透镜元件组(14a)被实施为具有正屈光力的平凸型会聚透镜元件(22),该平凸型会聚透镜元件具有面向该光阑平面(18)的凸面(22a)。
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