[发明专利]感光化射线性或感放射线性树脂组合物、图案形成方法及电子器件的制造方法

权利要求书

1.一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其用于形成膜厚为1μm以上的感光化射线性或感放射线性膜，并且用于进行基于波长200～300nm的光化射线或放射线的曝光，其中，

由所述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的膜厚12μm的感光化射线性或感放射线性膜中的对波长248nm的光的透射率为5％以上。

2.根据权利要求1所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其含有树脂(A)和通过光化射线或放射线的照射而产生酸的化合物(B)，并含有由通式(ZI-3)表示的化合物来作为所述化合物(B)，

[化学式1]

上述通式(ZI-3)中，

R₁表示烷基、环烷基、烷氧基、环烷氧基、芳基或烯基；

R₂及R₃分别独立地表示氢原子、烷基、环烷基或芳基，R₂与R₃任选地彼此连结而形成环，R₁与R₂任选地彼此连结而形成环；

R_x及R_y各自独立地表示烷基、环烷基、烯基或芳基，R_x与R_y任选地彼此连结而形成环，该环结构还任选地包含氧原子、氮原子、硫原子、酮基、醚键、酯键、酰胺键；

Z^-表示非亲核性阴离子。

3.根据权利要求2所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，

Z^-为由下述通式(2)～(4)中的任一个表示的阴离子，

[化学式2]

通式中，

Xf各自独立地表示氟原子或经至少一个氟原子取代的烷基，存在多个的Xf分别相同或不同；

R₇及R₈各自独立地表示氢原子、氟原子、烷基或经至少一个氟原子取代的烷基，存在多个时的R₇及R₈分别相同或不同；

L表示二价连接基团，当存在多个时，L相同或不同；

A表示包含环状结构的有机基团；

x表示1～20的整数，y表示0～10的整数；z表示0～10的整数；

[化学式3]

式中，Rb₃～Rb₅各自独立地表示烷基、环烷基或芳基；Rb₃与Rb₄任选地键合而形成环结构。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其含有具有由下述通式(AI)或(A)表示的重复单元的树脂，

[化学式4]

式中，Xa₁表示氢原子或烷基；

T表示单键或二价连接基团；

Rx₁～Rx₃各自独立地表示烷基或环烷基；

Rx₁～Rx₃中的2个任选地键合而形成环烷基；

[化学式5]

式中，R₀₁、R₀₂及R₀₃各自独立地表示例如氢原子、烷基、环烷基、卤素原子、氰基或烷氧基羰基；

Ar₁表示芳香环基，R₀₃表示亚烷基，且任选地与Ar₁键合而与-C-C-链一同形成5元环或6元环；

n个Y各自独立地表示氢原子或因酸的作用而脱离的基团；其中，Y的至少一个表示因酸的作用而脱离的基团；

n表示1～4的整数。