[发明专利]光罩保持装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、器件制造方法、光罩的保持方法以及曝光方法

说明书

本发明的保持光罩(M)的光罩载台装置(14)具备：支承块(50)，其从下方支承光罩(M)；吸附垫(46)，其具有对由支承块(50)支承且因光罩(M)的自重而挠曲的光罩(M)的面进行保持的保持面，使保持面以沿着挠曲的光罩(M)的面的方式可动并利用保持面保持光罩；和吸引口(46b)，其将挠曲的光罩(M)吸附于保持面。

技术领域

本发明涉及物体保持装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、器件制造方法、物体的保持方法以及曝光方法，更详细地，本发明涉及保持物体的物体保持装置及方法、包含上述物体保持装置的曝光装置、包含上述物体保持方法的曝光方法、使用上述曝光装置或方法的平板显示器或器件的制造方法。

背景技术

以往，在制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等电子器件(微型器件)的光刻工序中，使用了步进扫描(step and scan)方式的曝光装置(所谓的扫描步进机(也称为扫描仪))等，该曝光装置一边使光罩或标线片(以下总称为“光罩”)和玻璃板或晶片等(以下总称为“基板”)沿着规定的扫描方向同步移动，一边使用能量束将形成于光罩的图案转印至基板上。

这种曝光装置具有保持光罩并使该光罩在扫描方向上以规定的速度及精度移动的光罩载台装置(例如参照专利文献1)。

在此，由于通常的光罩载台装置是以不干扰能量束的光路的方式对光罩M的端部附近(未形成有光罩图案的区域)进行保持(或支承)的结构，所以光罩会因自重而产生挠曲。这种光罩的挠曲能够通过光学补偿来确保曝光精度，但在光罩的挠曲形状不稳定的情况下，存在不易进行光学补偿的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-85671号公报

发明内容

本发明是鉴于上述情况而提出的，根据第一方式，提供一种物体保持装置，其保持物体，该物体保持装置具备：支承部，其从下方支承所述物体；保持部，其具有对由所述支承部支承且因所述物体的自重而挠曲的所述物体的面进行保持的保持面，使所述保持面以沿着挠曲的所述物体的面的方式可动并利用所述保持面保持所述物体；和吸附部，其将所述挠曲的物体吸附于所述保持面。

根据第二方式，提供一种曝光装置，其具备：物体保持装置；和图案形成装置，其通过经由被所述物体保持装置保持的所述物体利用能量束对曝光对象物进行曝光的曝光动作，而将所述物体所具有的图案形成到所述曝光对象物上。

根据第三方式，提供一种平板显示器的制造方法，其包括：使用曝光装置对所述曝光对象物进行曝光；和将曝光后的所述曝光对象物显影。

根据第四方式，提供一种器件制造方法，其包括：使用曝光装置对所述曝光对象物进行曝光；和将曝光后的所述曝光对象物显影。

根据第五方式，提供一种物体保持方法，其使用具备支承部和保持面的物体保持装置来保持物体，该物体保持方法包括：使用所述支承部从下方支承所述物体；使对由所述支承部支承且因所述物体的自重而挠曲的所述物体的面进行保持的所述保持面以沿着挠曲的所述物体的面的方式可动；和使挠曲的所述物体吸附于所述保持面。

根据第六方式，提供一种曝光方法，其包括：物体保持方法；和通过经由以所述物体保持方法保持的所述物体并利用能量束对曝光对象物进行曝光的曝光动作，而将所述物体所具有的图案形成到所述曝光对象物上。

根据第七方式，提供一种平板显示器的制造方法，其包括：使用曝光方法对所述曝光对象物进行曝光；和将曝光后的所述曝光对象物显影。

根据第八方式，提供一种器件制造方法，其包括：使用曝光方法对所述曝光对象物进行曝光；和将曝光后的所述曝光对象物显影。

附图说明

图1是概略地表示第一实施方式的液晶曝光装置的结构的图。