[发明专利]研磨材料及其制造方法、以及研磨物的制造方法有效
申请号: | 201680063033.8 | 申请日: | 2016-10-25 |
公开(公告)号: | CN108349062B | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 德重伸;中濑惠介;栗原浩;柏田太志;小池坚一 | 申请(专利权)人: | 富士纺控股株式会社 |
主分类号: | B24B37/24 | 分类号: | B24B37/24;H01L21/304 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 杨宏军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 研磨 材料 及其 制造 方法 以及 | ||
1.研磨材料,其具有以经编或纬编构成的针织物、和含浸于所述针织物中的树脂,
所述研磨材料具有针织物的表面作为用于对被研磨物进行研磨的表面,
所述研磨材料的研磨面的表面粗糙度Ra为25~70μm,
所述针织物具有表面、背面及中间结构,
构成所述针织物的中间结构的纤维纱线为假捻纱。
2.如权利要求1所述的研磨材料,其中,所述树脂包含第1树脂和与所述第1树脂不同的第2树脂,
所述第2树脂是NCO当量为400以下的氨基甲酸酯预聚物与固化剂的反应产物。
3.如权利要求1所述的研磨材料,其中,所述树脂包含第1树脂和与所述第1树脂不同的第2树脂,
相对于所述针织物、所述第1树脂及所述第2树脂的总量而言,所述针织物的含量为30~60质量%。
4.如权利要求1所述的研磨材料,其中,构成所述针织物的单纱的数均直径为3~30μm。
5.如权利要求1所述的研磨材料,所述研磨材料的研磨面的表面粗糙度Ra为25~80μm。
6.如权利要求1所述的研磨材料,所述研磨材料的压缩率为0.5~20%。
7.如权利要求1所述的研磨材料,所述研磨材料的压缩弹性模量为50~98%。
8.如权利要求1所述的研磨材料,所述研磨材料的A硬度为50~98°。
9.如权利要求1所述的研磨材料,所述研磨材料的厚度为1.0~5.0mm。
10.研磨材料的制造方法,具有下述工序:
一次含浸工序,使包含第1树脂的树脂溶液含浸于以经编或纬编构成的针织物中,并进行湿式凝固,由此得到树脂含浸针织物;
浸渍工序,将所述树脂含浸针织物浸渍于包含可溶解所述第1树脂的溶剂的浸渍液中;和
二次含浸工序,将所述浸渍工序后的所述树脂含浸针织物含浸于包含NCO当量为400以下的氨基甲酸酯预聚物、和固化剂的溶液中,
其中,所述研磨材料的研磨面的表面粗糙度Ra为25~70μm,
所述针织物具有表面、背面及中间结构,
构成所述针织物的中间结构的纤维纱线为假捻纱。
11.如权利要求10所述的研磨材料的制造方法,其中,所述第1树脂在选自由N,N-二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、甲基乙基酮及二甲基亚砜组成的组中的1种以上中可溶。
12.如权利要求10或11所述的研磨材料的制造方法,其中,所述溶剂包含选自由N,N-二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、甲基乙基酮及二甲基亚砜组成的组中的1种以上的溶剂。
13.研磨物的制造方法,所述制造方法具有使用权利要求1~9中任一项所述的研磨材料对被研磨物进行研磨的研磨工序。
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