[发明专利]与偏振无关的量测系统

权利要求书

1.一种量测系统，包括：

辐射源，配置成产生光；

光学调制器，配置成将所述光的第一偏振模式与所述光的第二偏振模式在时间上分离开；

反射器，配置成将所述光朝衬底引导；

干涉仪，配置成接收已经从所述衬底上的图案所衍射的光或者从所述衬底所反射的光，并且由所衍射的光或所反射的光之间的干涉产生输出光；和

检测器，配置成接收来自所述干涉仪的输出光，其中，所述输出光的第一偏振模式与第二偏振模式在所述检测器处在时间上被分离开，

其中，所述光学调制器包括：

偏振分光器，配置成将所述光分成具有所述第一偏振模式的第一偏振光和具有所述第二偏振模式的第二偏振光；

光学延迟元件，配置成改变所述第一偏振光的群延迟；和

光学耦合器，配置成组合延迟的第一偏振光与所述第二偏振光，使得所述第一偏振模式与所述第二偏振模式在组合后的光中在时间上分离开。

2.根据权利要求1所述的量测系统，其中，所述光学调制器配置成从所述辐射源接收光并且将所述组合后的光传输至分光器。

3.根据权利要求1所述的量测系统，其中，所述光学延迟元件包括配置成增加所述第一偏振光的光学路径长度的光纤。

4.根据权利要求1所述的量测系统，其中，所述光学延迟元件包括配置成增加所述第一偏振光的光学路径长度的多个反射镜。

5.根据权利要求1所述的量测系统，其中，所述光学调制器配置成接收已经从所述衬底上的图案所衍射的光或所反射的光并且将所述组合后的光传输至所述干涉仪。

6.根据权利要求1所述的量测系统，其中，所述辐射源包括脉冲式激光源，所述脉冲式激光源配置成输出具有不同波长的脉冲，其中所述光学调制器配置成基于所述脉冲的波长将不同的调制施加到所述脉冲。

7.一种量测系统，包括：

辐射源，配置成产生光；

光学调制器，配置成将所述光的第一偏振模式与所述光的第二偏振模式在时间上分离开；

反射器，配置成将所述光朝衬底引导；

干涉仪，配置成接收已经从所述衬底上的图案所衍射的光或者从所述衬底所反射的光，并且由所衍射的光或所反射的光之间的干涉产生输出光；和

检测器，配置成接收来自所述干涉仪的输出光，其中，所述输出光的第一偏振模式与第二偏振模式在所述检测器处在时间上被分离开，

所述光学调制器包括：

偏振分光器，配置成将来自连续激光源的光分成具有所述第一偏振模式的第一偏振光和具有所述第二偏振模式的第二偏振光；

第一光学调制器，配置成将第一调制施加到所述第一偏振光；和

第二光学调制器，配置成将第二调制施加到所述第二偏振光，

其中，所述第一调制和所述第二调制被施加成使得当重新组合所述第一偏振光和所述第二偏振光时，所述第一偏振模式与所述第二偏振模式在时间上被分离开。

8.根据权利要求7所述的量测系统，其中，所述光学调制器配置成从所述连续激光源接收光，并且将从所述连续激光源接收的所述第一偏振模式与所述第二偏振模式在时间上分离开。

9.根据权利要求8所述的量测系统，其中，所述光学调制器还配置成将一信号传输至所述检测器，所述信号与所述光的第一偏振模式和第二偏振模式之间的在时间上的分离相关。

10.根据权利要求7所述的量测系统，其中，所述辐射源包括所述连续激光源。