[发明专利]合并式盖环有效

专利信息
申请号: 201680063817.0 申请日: 2016-11-07
公开(公告)号: CN108352297B 公开(公告)日: 2023-04-28
发明(设计)人: 戈文达·瑞泽;哈尼什·库马尔·帕嫐瓦雷皮力·库马尔安库提;斯坦利·吴 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L21/687;H01L21/205;H01L21/56
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 合并 式盖环
【权利要求书】:

1.一种盖环,包括:

环形主体,所述环形主体具有第一表面、实质平行于所述第一表面的第二表面、内边缘和外边缘;

支撑块,所述支撑块从所述环形主体延伸且界定所述第二表面的至少一部分,其中所述支撑块具有从所述环形主体的所述内边缘延伸至所述环形主体的所述第二表面的斜面边缘;

一或多个隔热部,所述一或多个隔热部相邻于所述支撑块且从所述支撑块径向向外而形成于所述环形主体上;

倒圆肩部,所述倒圆肩部从所述环形主体的所述第一表面延伸至所述环形主体的所述外边缘;

唇部,所述唇部靠近所述外边缘设置且从所述倒圆肩部向下延伸,所述唇部具有底表面,其中从所述底表面到所述第一表面的第一垂直距离小于从所述第一表面到所述第二表面的第二垂直距离;

槽,所述槽相邻所述唇部而形成于所述环形主体中,其中所述槽设置在所述外边缘与所述一或多个隔热部之间;

垂直附属部分,所述垂直附属部分包含第三表面、第四表面和斜面边缘,所述第三表面从所述第一表面延伸且实质平行于所述内边缘,所述第四表面正交于所述内边缘,所述斜面边缘设置在所述第三表面与所述第四表面之间;及

导热涂层,所述导热涂层设置在所述环形主体的所述第二表面上。

2.如权利要求1所述的盖环,其中所述导热涂层设置在由所述支撑块界定的所述第二表面的第一部分上。

3.如权利要求1所述的盖环,其中所述导热涂层设置在所述第二表面的第一部分上和所述第二表面的第二部分上,所述第一部分由所述支撑块界定,所述第二部分设置在所述槽与所述一或多个隔热部之间。

4.如权利要求1所述的盖环,其中所述唇部包括从所述外边缘延伸至所述槽的第五表面,并且其中从所述第一表面至所述第五表面的第一距离小于从所述第一表面至所述第二表面的第二距离。

5.一种盖环,包括:

环形主体,所述环形主体具有第一表面、实质平行于所述第一表面的第二表面、内边缘和外边缘;

支撑块,所述支撑块从所述环形主体延伸且界定所述第二表面的至少一部分,其中所述支撑块具有从所述环形主体的所述内边缘延伸至所述环形主体的所述第二表面的斜面边缘;

一或多个隔热部,所述一或多个隔热部相邻于所述支撑块且从所述支撑块径向向外而形成于所述环形主体上;

倒圆肩部,所述倒圆肩部从所述环形主体的所述第一表面延伸至所述环形主体的所述外边缘;

唇部,所述唇部靠近所述外边缘设置且从所述倒圆肩部向下延伸,所述唇部具有底表面,其中从所述底表面到所述第一表面的第一垂直距离小于从所述第一表面到所述第二表面的第二垂直距离;

槽,所述槽相邻所述唇部而形成于所述环形主体中,其中所述槽设置在所述外边缘与所述一或多个隔热部之间;

垂直附属部分,所述垂直附属部分包含第三表面、第四表面和斜面边缘,所述第三表面从所述第一表面延伸且实质平行于所述内边缘,所述第四表面正交于所述内边缘,所述斜面边缘设置在所述第三表面与所述第四表面之间;及

导热涂层,所述导热涂层设置在所述环形主体的所述第一表面和所述第二表面上。

6.如权利要求5所述的盖环,进一步包括从所述环形主体的所述第一表面延伸的一或多个突出部分。

7.如权利要求5所述的盖环,其中所述导热涂层设置在所述垂直附属部分与所述倒圆肩部之间的所述环形主体的所述第一表面上。

8.如权利要求5所述的盖环,其中所述一或多个隔热部从所述环形主体的所述第二表面延伸。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司,未经应用材料公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201680063817.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top