[发明专利]使用倾斜物光波和具有菲索干涉仪物镜的干涉仪

权利要求书

1.一种用于对光学平滑表面进行平面测量的干涉仪，具有用于利用来自不同方向的多个物光波来照射所述表面的待测表面区域的装置，以及用于在探测器上将在所述表面处反射的物光波叠加至与多个物光波相干的一个参考波以形成干涉图的装置，在所述干涉图中反映出所述表面的尺寸，其中，所述干涉仪设置用于同时利用多个物光波来照射所述表面并且通过Fizeau分束板或者Fizeau物镜产生参考波，因此即通过分束从照射所述表面(11)的所述多个物光波中的一个产生参考波，其中，所述干涉仪具有在光路上布置在所述探测器(14)的上游的干涉仪光阑(12、A)和成像光学件，其中，所述干涉仪光阑位于所述成像光学件的傅立叶平面之中或者恰好在所述成像光学件的傅立叶平面之外并且对由所述表面反射的物光波进行滤波，其特征在于，所述干涉仪具有作为照射构件的可切换的点光源的刚性布置，所述干涉器设置用于，在测量所述光学平滑表面时利用不同的物光波的不同选择来照射所述光学平滑表面，其中每个选择都产生自有的参考波，该参考波在利用另一个选择进行照射时被切断，并且所述点光源和所述干涉仪光阑(12、A)设计成，在每次记录测量值时仅一个参考波前到达所述探测器(14)并且完全地照亮所述探测器。

2.根据权利要求1所述的干涉仪，其特征在于，所述点光源的刚性布置形成一个规则光栅，并且在所述干涉仪的光轴与所述规则光栅的交点(D)处没有点光源，并且围绕所述交点(D)等距地对称布置n等于三或更多的点光源，这些点光源的物光波在Fizeau物镜或Fizeau分束板上产生参考波。

3.根据前述权利要求中任一项所述的干涉仪，其特征在于，所述干涉仪光阑(12、A)在测量期间是不可移动的，并且因此所述干涉仪光阑设计为使得由多个物光波前产生的多个参考波前能够同时到达所述探测器上，并且所述干涉仪具有可移动的光阑阵列的装置，所述可移动的光阑阵列的装置设计用于选择所述物光波前，从而对于每次测量值记录仅一个物光波前产生到达所述探测器的参考波前。

4.根据权利要求3所述的干涉仪，其特征在于，为了选择所述探测器上的恰好一个参考波前，存在用于选择产生所述参考波前的物光波前的光阑阵列。

5.根据权利要求1所述的干涉仪，其特征在于，所述干涉仪光阑(12、A)是可移动的并且能够被定位使得对于每次测量值记录来说恰好一个参考波前的光到达所述探测器。

6.根据权利要求1所述的干涉仪，其特征在于，所述干涉仪光阑(12、A)的尺寸被设计为，使得所述干涉仪光阑仅将一个入射角的物光波引导到所述探测器上，该入射角与所述参考波的入射角相似到使得在所述探测器上在所述干涉图中生成具有可评估条纹的子区域。

7.根据权利要求6所述的干涉仪，其特征在于，所述干涉仪设计成，使得所述干涉图的由不同物光波产生的子区域与可评估条纹在所述探测器上进行叠加。

8.根据权利要求1所述的干涉仪(30)，其特征在于，具有点光源阵列(PLQA)和在所述点光源阵列(PLQA)发射的光的光路中布置在所述点光源阵列(PLQA)下游的光学系统，所述光学系统由准直器(L2)、作为照射装置的干涉仪物镜(FO)，以及具有第一分束器、干涉仪光阑(12、A)和作为叠加装置的成像光学件(AO)，以及具有摄像机(K)，其中，所述干涉仪光阑(12、A)在所述成像光学件(AO)的傅立叶平面中布置在所述成像光学件(AO)与所述分束器之间，并且其中，所述点光源阵列(PLQA)中的光源(25，26，27，28)以行和列的方式彼此规则间距布置，并且其中，所述干涉仪的中心轴线(22)形成n角的法线，所述角是n个相邻点光源(25，26，27，28)中的每一个所处的地方，以及所述法线处于n角的中点。

9.根据权利要求8所述的干涉仪(30)，其特征在于，所述干涉仪光阑(12、A)具有n角或圆形的开口。