[发明专利]流量控制装置以及使用流量控制装置的异常检测方法

权利要求书

1.一种异常检测方法，所述异常检测方法使用流量控制装置和下游阀，其中，所述流量控制装置具备节流部、设置于所述节流部的上游侧的控制阀、设置于所述节流部的上游侧且所述控制阀的下游侧的第一压力传感器、和设置于所述节流部的下游侧的第二压力传感器，所述下游阀设置于所述第二压力传感器的下游侧，

所述异常检测方法包含以下步骤：

使所述控制阀以及所述下游阀从打开状态变化为关闭状态的步骤；

将所述控制阀以及所述下游阀维持着关闭状态而利用所述第一压力传感器以及所述第二压力传感器来测定上游压力以及下游压力的步骤；和

下述的步骤(a)以及步骤(b)中的至少一步骤：

(a)抽出所述上游压力与所述下游压力之差达到规定值的时刻或低于所述规定值的时刻的上游压力作为上游收敛压力，下游压力作为下游收敛压力的步骤，

(b)抽出从使所述控制阀以及所述下游阀从打开状态变化为关闭状态的时刻至所述上游压力与所述下游压力之差达到规定值的时刻或低于所述规定值的时刻为止的时间作为收敛时间的步骤，其中，

基于在所述步骤(a)或所述步骤(b)中任一步骤所获得的数据与作为所述数据的各自基准的值的比较而判断异常的有无。

2.根据权利要求1所述的异常检测方法，其特征在于，

包含抽出所述上游收敛压力以及所述下游收敛压力的步骤(a)和抽出所述收敛时间的步骤(b)两者，基于在所述步骤(a)以及所述步骤(b)所获得的两者的数据与作为所述基准的各个值的比较而判断异常的有无。

3.根据权利要求1或2所述的异常检测方法，其特征在于，

相对于所述上游收敛压力以及所述下游收敛压力，使基准压力为作为所述基准的值，相对于所述收敛时间，使基准时间为作为所述基准的值。

4.根据权利要求3所述的异常检测方法，其特征在于，

所述基准压力为预先测定的正常状态下的收敛压力，所述基准时间为预先测定的正常状态下的收敛时间。

5.根据权利要求3所述的异常检测方法，其特征在于，

所述异常检测方法进一步包含以下步骤：

使用所述第一压力传感器以及所述第二压力传感器来测定关闭所述控制阀以及所述下游阀前的打开状态下的所述上游压力以及所述下游压力的步骤；和

基于所测定的所述打开状态下的所述上游压力以及所述下游压力而决定所述基准压力以及所述基准时间的步骤。

6.根据权利要求5所述的异常检测方法，其特征在于，

所述异常检测方法包含以下步骤：预先准备表示所述打开状态下的所述上游压力以及所述下游压力与所述基准时间以及所述基准压力的关系的表的步骤；和根据所述表决定所述基准压力以及所述基准时间的步骤。

7.根据权利要求1或2所述的异常检测方法，其特征在于，

所述上游压力与下游压力差的规定值被设定为0，在所述上游压力与所述下游压力变得相同的时刻，抽出所述上游收敛压力、所述下游收敛压力或所述收敛时间。

8.根据权利要求1或2所述的异常检测方法，其特征在于，

基于所述上游收敛压力或所述下游收敛压力而检测所述控制阀以及所述下游阀的阀座泄漏，基于所述收敛时间而检测所述节流部具有的开口部的扩大以及缩小。

9.根据权利要求1或2所述的异常检测方法，其特征在于，

所述流量控制装置进一步具备设置于所述控制阀的下游侧的温度传感器，所述异常检测方法进一步包含基于所述温度传感器的输出而修正所述上游收敛压力或所述下游收敛压力的步骤。

10.根据权利要求1或2所述的异常检测方法，其特征在于，

在所述控制阀以及所述下游阀被维持为关闭状态的状态下，所述上游压力与所述下游压力之差在收敛后亦被维持着偏离作为基准的值时，判断为所述第一压力传感器或所述第二压力传感器异常。

11.一种压力式的流量控制装置，其特征在于，具备：

节流部；

控制阀，所述控制阀设置于所述节流部的上游侧；

第一压力传感器，所述第一压力传感器设置于所述节流部的上游侧且所述控制阀的下游侧；

第二压力传感器，所述第二压力传感器设置于所述节流部的下游侧；和

运算处理电路，所述运算处理电路以基于所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的输出而控制所述控制阀使得流量成为设定流量的方式进行控制，其中，

在所述第二压力传感器的下游，设置有内置于所述流量控制装置或者配置于所述流量控制装置的外部的下游阀，

所述运算处理电路，

在所述下游阀关闭时所述控制阀被关闭的状态下，基于所述第一压力传感器以及所述第二压力传感器的输出而计算上游压力与下游压力之差，

进行将通过所述计算而获得的所述差达到规定值的时刻或低于所述规定值的时刻的所述上游压力或所述下游压力与储存于存储器的基准压力的比较、或将从所述控制阀以及所述下游阀成为关闭的时刻至所述差达到规定值的时刻或低于规定值的时刻为止的时间与储存于存储器的基准时间的比较中的任一者或两者的比较，

基于与所述基准压力或所述基准时间的比较而生成异常判定信号。