[发明专利]磁性流体密封件

说明书

本发明提供一种磁性流体密封件，其即使在热量自旋转轴传导至密封膜的情况下，也能借助磁极构件将密封膜冷却，使得密封膜的寿命较长。磁性流体密封件(1)具有：外筒构件(3)，其在内部收纳自流体机械的壳体延伸来的旋转轴(2)；磁极构件(6A、6B)，其收纳于外筒构件(3)，并且配置在旋转轴(2)的周围，该磁极构件形成磁路；以及密封膜(M)，其由磁性流体(10A、10B)形成在轴向上，该密封膜与磁路磁连接，且配置在磁极构件(6A、6B)和旋转轴(2)之间，其中，该磁性流体密封件具有供气路径(19)，该供气路径(19)使来自外部的气体朝向磁极构件(6A、6B)流出。

技术领域

本发明涉及一种例如在高温环境下使用的磁性流体密封件。

背景技术

以往，作为寿命长且洁净的高性能密封件公知有一种磁性流体密封件。该磁性流体密封件在要求节省维护且需要清洁的环境氛围的半导体、液晶的制造工序、针对它们的各种涂覆·蚀刻工序中被广泛使用。

磁性流体密封件利用由形成在磁极构件和旋转轴之间的磁性流体形成的密封膜将流体机械的壳体和旋转轴之间的间隙密封，所述磁极构件保持在固定于流体机械的壳体上的外筒构件的内部。

虽然在这些磁性流体密封件上形成有密封膜，但是在密封于流体机械中的流体例如是高温气体的情况下，热量自高温气体向外筒构件传导，外筒构件的内部的磁极构件的温度逐渐上升，从而磁性流体的密封膜的温度上升，若该温度上升过度，则有时磁性流体的基础液蒸发，无法保持密封膜的密封性。考虑到这样的热量的影响，提出了在外筒构件的比密封膜靠机内侧的位置设置供气路径和排气路径来防止高温气体靠近、接触密封膜的磁性流体密封件。(参照专利文献1)

若如上所述设置供气路径和排气路径，使气体自供气路径流入外筒构件的内部，则形成经由旋转轴和外筒构件之间的空间向排气路径折回并流下的气流，因此，能够在旋转轴和外筒构件之间形成朝向机内侧的气流，由此，高温气体朝向密封膜的移动被切断。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平5-263949号(第5页，图2)

发明内容

发明要解决的问题

然而，若如上所述朝向旋转轴供给气体，生成朝向机内侧的气流，虽然能够防止高温气体靠近密封膜，但沿着旋转轴传导至密封膜的热量蓄积在磁极构件而无法充分地散热，使得密封膜的温度逐渐上升，可能导致密封膜的基础液蒸发。

本发明即是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种磁性流体密封件，该磁性流体密封件即使在热量自旋转轴传导至密封膜的情况下，也能借助磁极构件将密封膜冷却，使得密封膜的寿命较长。

用于解决问题的方案

本发明的磁性流体密封件包括：

外筒构件，其在内部收纳自流体机械的壳体延伸来的旋转轴；

磁极构件，其收纳于所述外筒构件，并且配置在所述旋转轴的周围，该磁极构件形成磁路；以及

密封膜，其由磁性流体形成在轴向上，该密封膜与所述磁路磁连接，且配置在所述磁极构件和所述旋转轴之间，

该磁性流体密封件的特征在于，

具有供气路径，该供气路径使来自外部的气体朝向所述磁极构件流出。

根据该特征，自供气路径朝向磁极构件流出的气体与磁极构件的轴向端面接触，通过热交换来使磁极构件冷却，因此，能够借助磁极构件将传导至密封膜的热量去除。