[发明专利]制造碳纳米结构体的方法和制造碳纳米结构体的装置

权利要求书

1.一种制造碳纳米结构体的方法，所述方法包括：

准备含有可渗碳金属作为主要成分的基材的准备步骤，以及

在加热所述基材的同时供给含碳气体的碳纳米结构体生长步骤，

其中所述碳纳米结构体生长步骤包括使所述基材的加热部分逐渐裂开，并且

其中所述碳纳米结构体生长步骤中的所述基材未被氧化。

2.根据权利要求1所述的制造碳纳米结构体的方法，其中，

通过对所述基材进行剪切来实施所述碳纳米结构体生长步骤中的所述裂开。

3.根据权利要求1或2所述的制造碳纳米结构体的方法，其中，

通过用激光照射所述基材的裂开部分来实施所述碳纳米结构体生长步骤中的加热。

4.根据权利要求1或2所述的制造碳纳米结构体的方法，其中，所述准备步骤包括在所述基材中形成用于诱导裂开的切口。

5.根据权利要求1或2所述的制造碳纳米结构体的方法，其还包括观察在所述碳纳米结构体生长步骤中的所述基材的裂开部分的观察步骤。

6.一种制造碳纳米结构体的装置，所述装置包括：

密闭容器；

气体供给单元，其将含碳气体供给到所述密闭容器中；以及

加热单元，其在所述密闭容器中加热含有可渗碳金属作为主要成分、且未被氧化的基材，

其中所述装置包括保持所述基材的多个保持部，且

所述多个保持部被构造成可移动的，以使所述基材逐渐裂开。

7.根据权利要求6所述的制造碳纳米结构体的装置，其中，

所述加热单元的加热源为激光。

8.根据权利要求6或7所述的制造碳纳米结构体的装置，其还包括用于观察所述基材的裂开部分的观察单元。