[发明专利]催化转化式传感器

权利要求书

1.一种催化转化式传感器，用于通过检测经反应生成的转化气体来对检测对象气体进行检测，其具备：

使所述检测对象气体流下的气体流路；以及

与所述气体流路连接的转化部，所述转化部具有加热催化部和传感器元件部，所述加热催化部使所述检测对象气体在被扩散单元隔开的一侧与已加热的催化剂接触发生反应而生成转化气体，所述扩散单元使所述检测对象气体自然扩散，所述传感器元件部能够检测通过反应生成的转化气体。

2.根据权利要求1所述的催化转化式传感器，其中，

所述扩散单元的透气阻力度为800mm·Pa^-1·s^-1以下。

3.根据权利要求1或2所述的催化转化式传感器，其中，

所述扩散单元是将形成有具有规定孔径的孔部的树脂膜和透气性多孔质膜相邻配置的扩散单元。

4.根据权利要求1所述的催化转化式传感器，其中，

所述扩散单元是形成了具有规定孔径的孔部的树脂膜。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的催化转化式传感器，其中，

所述反应为氧化反应。

6.根据权利要求5所述的催化转化式传感器，其中，

所述检测对象气体为三氟化氮，所述转化气体为二氧化氮。

7.根据权利要求6所述的催化转化式传感器，其中，

所述加热催化部中的催化剂为含有Pd和Pt的贵金属催化剂，所述传感器元件部为具有担载贵金属的碳、且能够检测二氧化氮的电化学式氮氧化物传感器元件。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的催化转化式传感器，其中，

所述加热催化部为接触燃烧式传感器，在该接触燃烧式传感器中具有所述催化剂且与所述检测对象气体感应的检测元件的球径为0.76～1.08mm。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的催化转化式传感器，其中，

将所述加热催化部加热至300～700℃。

10.根据权利要求9所述的催化转化式传感器，其中，

所述加热催化部的施加电压为0.68～1.85V。

11.根据权利要求1所述的催化转化式传感器，其中，

所述反应为热分解反应。

12.根据权利要求11所述的催化转化式传感器，其中，

所述扩散单元至少具备透气性多孔质膜。

13.根据权利要求11或12所述的催化转化式传感器，其中，

所述检测对象气体为六氟-1,3-丁二烯，所述转化气体为氟化氢。

14.根据权利要求13所述的催化转化式传感器，其中，

所述加热催化部中的催化剂为含有Pd和Pt的贵金属催化剂，所述传感器元件部为具有担载贵金属的碳、且能够检测氟化氢的电化学式传感器元件。