[发明专利]用于光掩模背侧清洁的设备及方法

权利要求书

1.一种用于保持光掩模的转子，所述转子包含：

密封板，所述密封板具有中心开口；

轴板，所述轴板刚性地附接至所述密封板，其中所述轴板能围绕旋转轴旋转；

弹性掩模密封件，所述弹性掩模密封件在所述中心开口中，其中所述弹性掩模密封件具有第一侧边、第二侧边、第三侧边和第四侧边；

分别在所述第一侧边、第二侧边、第三侧边和第四侧边处的第一牵拉器、第二牵拉器、第三牵拉器和第四牵拉器，其中所述第一牵拉器、第二牵拉器、第三牵拉器和第四牵拉器各包括分别附接至所述弹性掩模密封件的所述第一侧边、第二侧边、第三侧边和第四侧边的牵拉器框架，各个牵拉器能沿径向方向向外移动，以移动所述弹性掩模密封件至开启位置中，且各个牵拉器能沿径向方向向内移动，以移动所述弹性掩模密封件至关闭位置中，各个牵拉器包括弹簧，所述弹簧沿径向向内方向不断地驱使所述牵拉器框架以移动所述弹性掩模密封件至所述关闭位置中；和

至少一个致动器，所述至少一个致动器能沿平行于所述旋转轴的方向移动，所述至少一个致动器的移动驱动所述牵拉器沿垂直于所述旋转轴的径向向外方向移动以将所述弹性掩模密封件移动至所述开启位置中。

2.如权利要求1所述的转子，其中所述弹性掩模密封件的所述第一侧边和第三侧边具有相等长度且垂直于所述弹性掩模密封件的所述第二侧边和第四侧边。

3.如权利要求2所述的转子，其中所述第一牵拉器框架、第二牵拉器框架、第三牵拉器框架和第四牵拉器框架各具有内端和外端，且其中第一牵拉器杆、第二牵拉器杆、第三牵拉器杆和第四牵拉器杆分别在所述第一牵拉器框架、第二牵拉器框架、第三牵拉器框架和第四牵拉器框架的所述内端处，且各个所述牵拉器杆的内端附接至所述弹性掩模密封件，且在各个牵拉器框架的所述外端处的滚轮适用于通过沿垂直于所述径向方向的轴向方向移动的斜台而接合。

4.如权利要求3所述的转子，进一步包括轴板，所述轴板附接至所述密封板，且其中各个牵拉器支撑在所述轴板上且能在所述轴板上沿径向方向向内及向外移动。

5.如权利要求4所述的转子，其中所述弹性掩模密封件具有附接至所述密封板的上缘和附接至所述轴板的下缘，且其中所述第一牵拉器杆、第二牵拉器杆、第三牵拉器杆和第四牵拉器杆介于所述弹性掩模密封件的所述上缘与所述下缘之间。

6.如权利要求5所述的转子，进一步包括气体喷嘴，所述气体喷嘴在所述轴板的中心处。

7.一种用于清洁光掩模的设备，所述设备包含：

头部；

转子，所述转子在所述头部中，其中所述转子具有包括中心开口的密封板、在所述中心开口中的弹性掩模密封件、和附接至所述弹性掩模密封件且适用于移动所述弹性掩模密封件至开启位置中的牵拉器；

与各个牵拉器相关联的弹簧，所述弹簧用于驱使所述牵拉器以移动所述弹性掩模密封件至关闭位置中；

马达，所述马达在所述头部中以旋转所述转子；

推板，所述推板在所述头部中且适用于操作所述牵拉器；和

一或更多致动器，所述一或更多致动器在所述头部中且附接至所述推板，所述一或更多致动器用于移动所述推板至第一位置和第二位置中，其中当所述推板在所述第一位置中时，所述弹性掩模密封件在所述关闭位置中，且其中当所述推板在所述第二位置中时，所述弹性掩模密封件在所述开启位置。

8.如权利要求7所述的设备，进一步包括升降/旋转器，所述升降/旋转器附接至所述头部，其中所述升降/旋转器能操作以移动所述头部至处理位置中，在所述处理位置中所述头部与腔室侧壁接合以用于清洁在所述转子中的光掩模，且其中所述升降/旋转器能操作以移动所述头部至低于所述处理位置的装载/卸载位置中，以用于装载及卸载光掩模进出所述转子。