[发明专利]用于自动测试设备的校准装置

说明书

本发明公开了一种示例性自动测试设备(ATE)，其包括：测试仪器，该测试仪器用于输出测试信号以测试受测试装置(DUT)，并且用于基于该测试信号接收响应信号；装置接口板(DIB)，该装置接口板连接至测试仪器，其中DIB包括应用空间，该应用空间具有DUT与其连接的位点，并且其中测试信号和响应信号传送通过该位点；以及DIB上的应用空间中的校准电路。该校准电路包括通信接口，经由该通信接口传送通信，其中通信包括到达该校准电路的控制信号和来自该校准电路的测量信号。校准电路还包括非易失性存储器以储存校准数据，并且基于控制信号可控制该校准电路，以将测试信号从测试仪器传送至DUT，并且将响应信号从DUT传送至测试仪器。

技术领域

本说明书整体涉及用于在自动测试设备(ATE)中使用的校准装置。

背景技术

自动测试设备(ATE)包括用于将信号发送至受测试装置(DUT)并且从受测试装置接收信号的电子设备，以测试DUT的操作。ATE包括经校准用于操作的测试仪器，诸如微波仪器。测试仪器可在靠近仪器的输入端或输出端的特定连接器处对功率、噪声、阻抗或其它参数进行校准。此位置被称为校准平面，并且是指定或已知测试仪器性能的位置。

仪器的校准平面最经常在物理上且在电气上不同于位于DUT接针或球处的最佳校准平面。已实施解决方案以朝向DUT延伸仪器校准平面，从而缩减校准平面与DUT之间的路径的长度。这些解决方案包括：加入固定偏移增益/衰减，特性化居间互连(装置接口板-DIB)和计算适当调整；开发可用来计算调整的DUT封装件中的校准标准；或调整参数直至达成所需结果。当应用于实时测量时，这些解决方案的各自具有复杂性、准确性(且因此良率)、上市时间和测试限制成本的权衡。实际校准平面与DUT之间的路径的校准的总体设计可影响信号性能，从而可影响仪器的准确操作且因此影响装置良率和成本。

发明内容

示例性自动测试设备(ATE)包括：测试仪器，其用于输出测试信号以测试受测试装置(DUT)，且用于基于测试信号接收响应信号；装置接口板(DIB)，其连接至测试仪器，其中DIB包括应用空间，应用空间具有DUT与其连接的位点，并且其中测试信号和响应信号传送通过该位点；和校准电路，其处于DIB上的应用空间中。校准电路包括通信接口，经由该通信接口传送通信。通信包括到达校准电路的控制信号和来自校准电路的测量信号。校准电路还包括非易失性存储器以储存校准数据，且基于控制信号能够控制校准电路，以将测试信号从测试仪器传送至DUT，且将响应信号从DUT传送至测试仪器。该示例性ATE可单独或组合地包括下列特征中的一者或多者。

DIB可包括位点或接针，并且校准电路可放置成与位点或接针相邻，并且可用于校准不与位点或接针相邻的测试仪器。校准电路可包括分离器、组合器或电路，电路为可控制的以将测试信号传送至DUT，并且从DUT传送响应信号。校准电路可包括温度检测器以检测校准电路处的温度，其中测量信号中的至少一者表示所检测的温度。校准电路可包括信号功率检测器以检测测试信号或响应信号中的至少一者的信号功率，其中测量信号中的至少一者表示所检测的信号功率。功率检测器可被配置成使用参考信号以用于自校准。校准电路可被电磁隔离。

校准电路可包括开关电路，连同短路、开路和已知阻抗负载电路，其中开关电路为可控制的以将测试信号发送至短路、开路或已知阻抗负载电路中的至少一者，并且从短路、开路或已知阻抗负载电路中的至少一者接收反射信号。校准电路可包括验证电路，验证电路具有特定校准，其中开关电路为可控制的以将测试信号发送至验证电路以验证基于来自短路、开路、已知阻抗负载电路或阻抗标准中的至少一者的反射信号所确定的S参数。

ATE可包括测试计算机，测试计算机用于编排DUT的测试；和控制器，其用于接合在测试计算机与校准电路之间。控制器可用于从测试计算机接收数据，且用于基于数据产生到达校准电路的控制信号，且还用于基于在校准电路处所获得的一个或多个参数来校正测试仪器有源信号和/或测量信号，且还用于读取来自校准电路的所储存数据和校准电路的状态。校准电路可包括阻抗，基于控制信号以及由校准仪器和测试仪器所导出的信息能够调谐阻抗。