[发明专利]非活性气体的置换方法以及使用非活性气体的置换方法的陶瓷结构体的制造方法

权利要求书

1.一种非活性气体的置换方法，具备：

封闭工序，将陶瓷体收容于封闭空间中，并将所述封闭空间在保持与外部的气密性的状态下进行封闭；

减压工序，将所述封闭空间减压至预先设定的第一真空压；

增压工序，向减压后的所述封闭空间中导入非活性气体，将所述封闭空间增压至第二真空压，所述第二真空压比所述第一真空压高且比大气压低；

再减压工序，将增压后的所述封闭空间再减压至所述第一真空压；以及

复压工序，在将所述增压工序和所述再减压工序至少重复两次后，向再减压至所述第一真空压后的所述封闭空间中导入所述非活性气体，将所述封闭空间复压至大气压。

2.如权利要求1所述的非活性气体的置换方法，将所述增压工序和所述再减压工序重复四次。

3.如权利要求1或2所述的非活性气体的置换方法，

所述封闭空间是气体置换室的室内空间，所述气体置换室与对所述陶瓷体进行烧成处理的烧成炉的上游侧和下游侧中至少任一侧的炉开口部连接，

在所述气体置换室与所述烧成炉的炉开口部之间，设置有能够将所述封闭空间与所述烧成炉的炉内空间在保持气密性的状态下进行封闭的气密闸门。

4.如权利要求1或2所述的非活性气体的置换方法，

所述封闭空间是对所述陶瓷体进行烧成处理的烧成炉的炉内空间，

在所述烧成炉的炉开口部设置有气密闸门。

5.如权利要求1所述的非活性气体的置换方法，

调整所述第二真空压以使得所述第二真空压在至少重复两次的所述增压工序的各次中为固定，或者，调整所述第二真空压以使得所述第二真空压在每当实施所述增压工序时逐次升高。

6.如权利要求1所述的非活性气体的置换方法，所述非活性气体使用氩气。

7.如权利要求1所述的非活性气体的置换方法，

所述陶瓷体是蜂窝成型体，所述蜂窝成型体具有格子状的隔壁和外周壁，所述隔壁划分形成多个从一个端面延伸至另一端面的孔格。

8.如权利要求1所述的非活性气体的置换方法，

经过所述复压工序复压至所述大气压的所述封闭空间的氧浓度为500ppm以下。

9.如权利要求1所述的非活性气体的置换方法，

将所述第一真空压调整为0.1～5kPa的范围，

将所述第二真空压调整为12～50kPa的范围。

10.如权利要求1所述的非活性气体的置换方法，

因所述封闭空间的泄漏所导致的压力上升为1秒钟1.0Pa以下。

11.一种使用非活性气体的置换方法的陶瓷结构体的制造方法，具备：

成型工序，由成型材料形成陶瓷体；以及

烧成工序，将经过所述成型工序得到的所述陶瓷体烧成，形成陶瓷结构体，

所述烧成工序具有：

封闭工序，将所述陶瓷体收容于封闭空间中，并将所述封闭空间在保持与外部的气密性的状态下进行封闭；

减压工序，将所述封闭空间减压至预先设定的第一真空压；

增压工序，向减压后的所述封闭空间中导入非活性气体，将所述封闭空间增压至第二真空压，所述第二真空压比所述第一真空压高且比大气压低；

再减压工序，将增压后的所述封闭空间再减压至所述第一真空压；以及

复压工序，在将所述增压工序和所述再减压工序至少重复两次后，向再减压至所述第一真空压后的所述封闭空间中导入所述非活性气体，将所述封闭空间复压至大气压。

12.如权利要求11所述的使用非活性气体的置换方法的陶瓷结构体的制造方法，所述烧成工序中的所述非活性气体的置换方法中，将所述增压工序和所述再减压工序重复四次。