[发明专利]一种通过气相沉积方法涂覆一根或多根线材的装置有效

专利信息
申请号: 201680067966.4 申请日: 2016-11-18
公开(公告)号: CN108350573B 公开(公告)日: 2020-09-08
发明(设计)人: 埃米利安·布特;西蒙·蒂博;阿德里安·德尔康;塞德里克·德康 申请(专利权)人: 赛峰集团陶瓷
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C16/54
代理公司: 中国商标专利事务所有限公司 11234 代理人: 宋义兴;曾海艳
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 一种 通过 沉积 方法 一根 线材 装置
【权利要求书】:

1.一种通过气相沉积方法涂覆一根或多根线材的装置,其特征在于,该装置至少包括:

-处理室,其沿着纵向轴线延伸且具有位于内部圆周壁和外部圆周壁之间的至少一个处理区域,并且其中至少一根线材通过气相沉积方法进行涂覆;

-输送器系统,其被配置为通过处理区域输送所述至少一根线材;

-注入器装置,其被配置为通过设置于内部或外部圆周壁中的至少一个入口孔将处理气相注入处理区域中;以及

-排出装置,其被配置为通过设置于内部或外部圆周壁中的至少一个出口孔将残余气相从处理区域排出,所述入口孔和所述出口孔位于垂直于处理室的纵向轴线并且围绕处理室的圆周方向偏移的公共平面中。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,具有多个入口孔和多个出口孔。

3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,入口孔和出口孔偏移以使得每个出口孔定位在围绕圆周方向的两个入口孔之间。

4.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述入口孔和所述出口孔围绕圆周方向均匀分布。

5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,入口孔分别位于所述内部圆周壁或外部圆周壁中,并且出口孔分别位于外部或内部圆周壁中。

6.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,输送器系统包括用于调节通过处理室的所述至少一根线材的行进速度的元件。

7.一种使用根据权利要求1所述的装置通过气相沉积方法处理一根或多根线材的方法,其特征在于,该方法至少包括以下步骤:

-使用注入器装置通过所述入口孔将气相注入处理区域中;

-使用输送器系统使至少一根线材通过处理区域输送,以便通过气相沉积由注入的气相在所述至少一根线材上形成层;以及

-通过所述出口孔从处理区域排出残余气相。

8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述至少一根线材通过所述输送器系统连续地通过所述处理室传送。

9.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,该层通过化学气相沉积或通过反应性化学气相沉积形成。

10.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,该层是中间相涂层。

11.一种制造复合材料部件的方法,其特征在于,该方法至少包括以下步骤:

-至少通过执行根据权利要求10所述的方法用中间相涂层涂覆多根线材;

-通过对以这种方式用中间相涂层涂覆的线材进行一次或多次纺织操作来形成纤维预成型件;以及

-用基质致密化纤维预成型件以获得复合材料部件。

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