[发明专利]微机械的转速传感器和用于制造该微机械的转速传感器的方法

权利要求书

1.微机械的转速传感器（100），其具有带旋转振荡轴承（157）的旋转振荡器（140），所述旋转振荡轴承包括：

摇臂（152）；

摇动弹簧棒（154），所述摇动弹簧棒使所述摇臂（152）与所述转速传感器（100）的衬底（155）弹性地连接；以及

两个支承弹簧棒（153），所述两个支承弹簧棒在所述摇动弹簧棒（154）的相反侧上使所述摇臂（152）与所述旋转振荡器（140）弹性地连接，其中所述摇动弹簧棒（154）垂直于所述摇臂（152）延伸，并且其中，所述支承弹簧棒（153）平行于所述摇动弹簧棒（154）延伸。

2.根据权利要求1所述的转速传感器（100），其中所述支承弹簧棒（153）对称地构造在所述摇动弹簧棒（154）的相反侧上。

3.根据权利要求1或2所述的转速传感器（100），所述转速传感器还包括：

第一驱动块（112），所述第一驱动块布置在所述旋转振荡器（140）旁边并且通过第一弹簧（144）耦合到所述旋转振荡器（140）上；以及

第二驱动块（122），所述第二驱动块布置在所述旋转振荡器（140）旁边并且通过第二弹簧（145）耦合到所述旋转振荡器（140）上；

其中所述摇动弹簧棒（154）沿着所述第一弹簧（144）与第二弹簧（145）之间的连接线延伸。

4.根据权利要求1或2所述的转速传感器（100），其中所述旋转振荡轴承（157）还包括：

其它摇臂（162）；

其它摇动弹簧棒（164），所述其它摇动弹簧棒使所述其它摇臂（162）与所述转速传感器（100）的衬底（155）弹性地连接；以及

两个其它支承弹簧棒（163），所述两个其它支承弹簧棒在所述其它摇动弹簧棒（164）的相反侧上使所述其它摇臂（162）与所述旋转振荡器（140）弹性地连接。

5.根据权利要求4所述的转速传感器（100），其中所述摇动弹簧棒（154）和所述其它摇动弹簧棒（164）共线地来构造。

6.根据权利要求4所述的转速传感器（100），其中：

所述旋转振荡器（140）具有所述旋转振荡器（140）的第一突出部（156）和第二突出部（166）；

所述支承弹簧棒（153）使所述摇臂（152）与所述第一突出部（156）或第二突出部（166）连接；而且

所述其它支承弹簧棒（163）使所述其它摇臂（162）与所述第一突出部（156）或第二突出部（166）连接。

7.根据权利要求6所述的转速传感器（100），其中：

所述第一突出部（156）和第二突出部（166）在所述旋转振荡器（140）的留空部（170）的彼此对置的侧面上形成；以及

所述摇动弹簧棒（154）使所述摇臂（152）并且所述其它摇动弹簧棒（164）使所述其它摇臂（162）与所述转速传感器（100）的衬底（155）在所述第一突出部（156）与第二突出部（166）之间连接。

8.用于制造微机械的转速传感器（100）的方法，所述微机械的转速传感器具有旋转振荡器（140），所述旋转振荡器包括利用如下步骤对旋转振荡轴承（157）的构造：

构造（200）摇臂（152）；

借助于摇动弹簧棒（154）使所述摇臂（152）与所述转速传感器（100）的衬底（155）弹性地连接；并且

借助于两个支承弹簧棒（153）使所述摇臂（152）与所述旋转振荡器（140）在所述摇动弹簧棒（154）的相反侧上如此弹性地连接，使得所述摇动弹簧棒（154）垂直于所述摇臂（152）延伸，并且其中，所述支承弹簧棒（153）平行于所述摇动弹簧棒（154）延伸。