[发明专利]含有氟元素的废气的处理方法在审
申请号: | 201680068109.6 | 申请日: | 2016-10-31 |
公开(公告)号: | CN108348850A | 公开(公告)日: | 2018-07-31 |
发明(设计)人: | 村川美奈子;佐野友美;远田安沙子 | 申请(专利权)人: | 昭和电工株式会社 |
主分类号: | B01D53/68 | 分类号: | B01D53/68;B01D53/14;B01D53/78 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 李照明;段承恩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氟元素 废气 碱性水溶液 处理气体 氟系气体 还原剂 排出 氧化性气体 酸性气体 有效处理 氟化氢 湿式法 水接触 氟化 氟气 | ||
1.一种含有氟元素的废气的处理方法,其特征在于,具有以下工序:
第一工序,使含有氟元素的废气与水接触;和
第二工序,使从第一工序排出的气体成分与包含还原剂的碱性水溶液接触。
2.根据权利要求1所述的含有氟元素的废气的处理方法,其特征在于,
所述含有氟元素的废气,含有氟气和/或氟化氢。
3.根据权利要求1或2所述的含有氟元素的废气的处理方法,其特征在于,
所述还原剂是硫系还原剂。
4.根据权利要求3所述的含有氟元素的废气的处理方法,其特征在于,
所述硫系还原剂是亚硫酸盐和/或硫代硫酸盐。
5.根据权利要求1~4的任一项所述的含有氟元素的废气的处理方法,其特征在于,
在所述第一工序中,与水接触时的废气中的氟气浓度为40体积%以下。
6.根据权利要求1~5的任一项所述的含有氟元素的废气的处理方法,其特征在于,
从所述第一工序排出的气体成分中的二氟化氧浓度为5体积%以下。
7.根据权利要求1~6的任一项所述的含有氟元素的废气的处理方法,其特征在于,
从所述第二工序排出的气体成分中的二氟化氧浓度为1体积ppm以下。
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