[发明专利]溶液附着装置及溶液附着方法

说明书

本发明能够提供一种溶液附着装置及溶液附着方法，其能够高精度地控制对形成有成为溶液的附着对象的区域的基板的溶液的附着范围。溶液附着装置(100)具备：吐出器具(131)，具有朝向重力方向吐出溶液的吐出口(131A)；及溶液附着控制部(150)，在吐出器具(131)的包括吐出口(131A)的端面(131a)重力方向的下方配置有形成于基板(1)上的金属膜(11)的定位状态下，进行使从吐出口(131A)吐出的溶液附着于金属膜(11)的控制。在定位状态中，在与重力方向垂直的面(G1)上投影了端面(131a)的情况下的第一投影区域(131aX)实质上与在面(G1)上投影了金属膜(11)的情况下的第二投影区域(11X)重合。

技术领域

本发明涉及一种使溶液附着于所希望的区域的溶液附着装置及溶液附着方法。

背景技术

作为用于定量包含于被检物质中的蛋白质、酶及无机化合物等的高灵敏度且容易的测定方法，荧光检测法被广泛利用。该荧光检测法为通过检测荧光来确认被检物质的存在的方法，所述荧光在对认为包含由特定波长的光激发而发出荧光的被检物质的活体试样照射上述特定波长的激发光时发出。并且，在被检物质不是荧光体的情况下，使通过荧光色素而被标记并与被检物质特异性结合的物质与活体试样接触，之后，通过以与上述相同的方式检测荧光而确认被检物质的存在，该方法也被广泛利用。

这种荧光检测法中，已知有为了提高检测的灵敏度而利用了基于等离子体激元共振的电场增强效果的表面等离子体激元共振传感器装置。在表面等离子体激元共振传感器装置中，为了产生等离子体激元共振而使用基板上形成有金属膜的检查试剂盒。而且，相对于检查试剂盒的基板和金属膜的界面，使激发光从与基板上的金属膜形成面相反的面一侧以全反射角以上的角度进行入射。通过该激发光的照射而在金属膜上产生表面等离子激元，通过基于产生表面等离子激元的电场增强作用而增强荧光，提高信号/噪声比(S/N比)。

在表面等离子体激元共振传感器装置中使用的检查试剂盒中，形成于基板上的金属膜上附着有作为测定对象的活体试样，即配体试样(也包括脱氧核糖核酸(DNA))。并且，为了改善金属膜与配体试样之间的接合性，有时也预先将偶联材料附着于金属膜上。

专利文献1公开了使溶液附着于在表面等离子体激元共振传感器装置中使用的检查试剂盒的金属膜上的方法。

专利文献2公开了为了制造有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示装置而使用的涂布装置。该涂布装置具有用于清洗从吐出口朝下方吐出溶液的喷嘴的喷嘴清洗装置。

专利文献3公开了在电极上滴加包含半导体芯片的溶液，从而使半导体芯片附着于电极上的方法。

专利文献4公开了在电子设备等的表面涂布液态树脂或粘结剂等液体的装置。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-172744号公报

专利文献2：日本特开2009-045541号公报

专利文献3：日本特开2010-045145号公报

专利文献4：日本特开2004-223471号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

在表面等离子体激元共振传感器装置中使用的检查试剂盒的金属膜其面积为几mm²至几十mm²左右，非常小。将这种小的区域作为对象，为了使溶液附着于该区域整体上，将从吐出器具吐出的溶液的量设为较多是有效的。