[发明专利]用金刚石层和硬质材料层涂覆体有效
申请号: | 201680069198.6 | 申请日: | 2016-11-25 |
公开(公告)号: | CN108291299B | 公开(公告)日: | 2021-09-17 |
发明(设计)人: | 斯特凡·博尔茨;奥利弗·莱麦尔;安东尼乌斯·莱恩德克 | 申请(专利权)人: | 塞梅孔公司 |
主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C23C28/04;C23C14/02;C23C16/02;C23C28/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 顾晋伟;蔡胜有 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金刚石 硬质 材料 层涂覆体 | ||
1.一种经涂覆体,至少包括以下:
- 基底(22);
- 至少一个金刚石层(24),所述金刚石层(24)的厚度为1 μm至40 μm,所述金刚石层(24)是不导电的;
- 以及至少一个硬质材料层(26),所述硬质材料层(26)与所述金刚石层(24)相比向外更远地布置在体(10)上,其中所述硬质材料层(26)包含至少一种金属元素和至少一种非金属元素;
- 其中厚度为2 nm至80 nm的导电粘合层(32)设置在所述金刚石层(24)与所述硬质材料层(26)之间,所述粘合层(32)包含碳和至少一种金属元素,所述粘合层(32)由注入到所述金刚石层(24)的表面中的金属离子形成。
2.根据权利要求1所述的经涂覆体,其中
- 所述粘合层(32)中的至少一种金属元素的浓度具有随着距所述基底(22)的距离而增加的梯度。
3.根据权利要求1或2所述的经涂覆体,其中
- 所述粘合层(32)通过将金属原子注入或使金属原子扩散进入所述金刚石层(24)的外部区域中而形成。
4.根据权利要求1至2中的一项所述的经涂覆体,其中
- 所述粘合层(32)的一种或更多种金属元素选自包括Ti和Cr的组。
5.根据权利要求1至2中的一项所述的经涂覆体,其中
- 所述粘合层(32)主要由Ti和C构成。
6.根据权利要求1至2中的一项所述的经涂覆体,其中
- 所述粘合层(32)的厚度为5 nm至40 nm。
7.根据权利要求2所述的经涂覆体,其中
- 所述粘合层(32)中的所有金属元素的浓度具有随着距所述基底(22)的距离而增加的梯度。
8.根据权利要求1至2中的一项所述的经涂覆体,其中
- 所述粘合层(32)包含所述硬质材料层(26)和/或过渡层(33)的金属元素中的一种或更多种。
9.根据权利要求1至2中的一项所述的经涂覆体,其中
- 过渡层(33)设置在所述金刚石层(24)与所述硬质材料层(26)之间,其中过渡层包含至少一种金属元素和至少一种非金属元素。
10.根据权利要求9所述的经涂覆体,其中
- 所述过渡层(33)设置在所述粘合层(32)与所述硬质材料层(26)之间。
11.根据权利要求9所述的经涂覆体,其中
- 所述过渡层(33)包含元素Si、V、W、Ti、Cr、C或N中的至少一种。
12.根据权利要求9所述的经涂覆体,其中
- 所述过渡层(33)包含至少C和/或N以及Ti和/或Cr。
13.根据权利要求9所述的经涂覆体,其中
- 所述过渡层(33)包含Ti-N、Ti-C-N、Ti-C、Cr-C、Cr-C-N或Cr-N,或者完全或主要由Ti-N、Ti-C-N、Ti-C、Cr-C、Cr-C-N或Cr-N构成。
14.根据权利要求9所述的经涂覆体,其中
- 所述过渡层(33)中的至少一种非金属元素的浓度沿厚度方向而变化。
15.根据权利要求9所述的经涂覆体,其中
- 所述粘合层(32)与所述过渡层(33)和/或所述硬质材料层(26)相比具有更低比例的硬质材料化合物。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的