[发明专利]加热板及其制造方法与制造装置、使用该加热板的热流通量传感器的制造装置

说明书

本发明提供加热板及其制造方法与制造装置、使用该加热板的热流通量传感器的制造装置。加热板(20)具备通电后发热的片状发热部件(200)、设置于片状发热部件的一个主面(201)侧并保护片状发热部件的保护膜(23)、设置于保护膜的与片状发热部件相反一侧的面(231)的输出电路部(25)、以及设置在保护膜与片状发热部件之间的突出部形成膜(26)。输出电路部具有突出部(251)，该突出部形成为能够与作为检查对象的热流通量传感器所具有的端子抵接。突出部形成膜在与突出部对应的位置具有突起(261)。片状发热部件、保护膜、输出电路部以及突出部形成膜一体地形成。

技术领域

本发明涉及加热具有多个能够输出信号的端子的片状检查对象并且能够将端子输出的信号向外部输出的加热板及其制造方法与制造装置、使用该加热板的热流通量传感器的制造装置。

背景技术

以往，公知有测定在单位时间内从一侧朝另一侧横切单位面积的热量即热流通量的热流通量传感器。例如日本特许文献1记载了一种热流通量传感器，其具备设有多个通孔的平板的基板、和经由形成于通孔的导电层电连接于该基板的两个主面的每一面并将根据从基板的从一侧朝另一侧流动的热量的大小而产生的电压向外部输出的输出电路部。

日本特许文献1：日本特开2007-208262号公报

日本特许文献1记载的热流通量传感器在构成基板的聚酰亚胺等的软质薄膜与由阻焊剂等构成的绝缘层层叠的平板状的部件上设置有输出热流通量传感器的信号的多个输出电路部。因此，在制造日本特许文献1记载的热流通量传感器的过程中检查热流通量传感器的特性的情况下，需要使规定大小的热流从该热流通量传感器的一侧流向另一侧并且高精度测定多个输出电路部输出的各个电压。

在使规定的热量流向热流通量传感器的情况下，在热流通量传感器的一侧设置加热用加热器，在热流通量传感器的另一侧设置冷却部。由此，形成从热流通量传感器的一侧朝另一侧流动的热流。此时，根据夹在加热用加热器与冷却部之间的热流通量传感器输出的电压与流动的热量的大小的关系，检查该热流通量传感器的特性。在热流通量传感器中流动的热量的大小可根据向该加热用加热器供给的电力来计算，但从加热用的加热器的角度看，加热用加热器产生的热不仅朝冷却部的方向扩散还向四方扩散。因此，很难高精度确定在热流通量传感器中实际通过的热量的大小。

因此，考虑尽可能减薄加热用加热器使其成为片状从而能够忽略除了从加热用加热器来看朝冷却部的方向和与冷却部相反一侧的方向以外的方向的热量扩散，检查热流通量传感器的特性。

此时，在从加热用加热器来看与冷却部相反一侧，为了提高加热用加热器与热流通量传感器的紧贴性并确保隔热，而设置由弹性材料形成的支承台。然而，检查热流通量传感器的特性时若向输出电路部按压外部的检查用探测器，则支承台因该按压的力弯曲，在加热用加热器与热流通量传感器之间形成间隙。因此，存在无法使加热用加热器与热流通量传感器充分紧贴之虞。

另外，如日本特许文献1记载的热流通量传感器那样，在一张基板上设置有多个输出电路部的情况下，将多个检查用探测器按压于多个输出电路部，所以弯曲进一步变大，加热用加热器与热流通量传感器的紧贴性更加恶化。因此，无法高精度确定在热流通量传感器中流动的热量而使检查精度恶化。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的是提供以使规定的热量向具有能够输出信号的端子的检查对象流动的方式高精度加热检查对象并且能够将该端子输出的信号可靠地向外部输出的加热板。

本发明的加热板能够加热具有能够输出信号的端子的片状检查对象并且能够将端子输出的信号向外部装置或者外部电路输出，具备片状发热部件、保护膜、输出电路部、突出部形成膜。

片状发热部件通电后会发热。

保护膜设置于片状发热部件的一方的主面侧，保护片状发热部件。