[发明专利]经涂覆的柔性组件

权利要求书

1.经涂覆的柔性组件(1)，其包括

-柔性基板(2)，

-至少一层基于难熔金属的金属涂层(3)，该涂层是

MoRe涂层，

基于Mo的MoXRe涂层，其中X＝Nb,Ta,Ti,W,

WRe涂层，或

基于W的WXRe涂层，其中X＝Nb,Ta,Ti,Mo，

其特征在于基于难熔金属的涂层(3)包含大于6原子％且小于50原子％的Re。

2.根据权利要求1所述的经涂覆的柔性组件(1)，其中基于难熔金属的涂层(3)包含大于6原子％且小于35原子％的Re。

3.根据权利要求1或2所述的经涂覆的柔性组件(1)，其中基于难熔金属的涂层(3)的厚度小于1μm。

4.根据权利要求3所述的经涂覆的柔性组件(1)，其中基于难熔金属的涂层(3)的厚度为5至300nm。

5.根据权利要求1或2所述的经涂覆的柔性组件(1)，其中柔性基板(2)为透明的。

6.根据权利要求1或2所述的经涂覆的柔性组件(1)，其中柔性基板(2)包含至少一种选自聚合物、薄玻璃、金属箔、无机材料的材料。

7.根据权利要求1或2所述的经涂覆的柔性组件(1)，其中，基于难熔金属的涂层(3)在弹性应变ε为2％时的电阻R与在开始测量时的电阻R₀的比例R/R₀小于1.2。

8.根据权利要求1或2所述的经涂覆的柔性组件(1)，其中经涂覆的柔性组件(1)具有至少一个导体轨道结构(4)。

9.根据权利要求8所述的经涂覆的柔性组件(1)，其中至少一个导体轨道结构(4)具有至少一层由Cu、Al、Ag、Cu基合金、Al基合金或Ag基合金组成的金属层(5)。

10.根据权利要求8所述的经涂覆的柔性组件(1)，其中基于难熔金属的涂层(3)是至少一个导体轨道结构(4)的一部分。

11.根据权利要求9所述的经涂覆的柔性组件(1)，其中基于难熔金属的涂层(3)设置在柔性基板(2)与由Cu、Al、Ag、Cu基合金、Al基合金或Ag基合金组成的金属层(5)之间。

12.根据权利要求8所述的经涂覆的柔性组件(1)，其中经涂覆的柔性组件(1)还包含至少一层半导体层(6)。

13.根据权利要求8所述的经涂覆的柔性组件(1)，其中基于难熔金属的涂层(3)为TFT结构的一部分。

14.根据权利要求1或2所述的经涂覆的柔性组件(1)，其中经涂覆的柔性组件(1)为选自以下的组件：柔性LCD显示器、柔性OLED显示器、柔性电泳显示器(电子纸)、柔性太阳能电池、电致变色柔性膜、柔性薄膜电池。

15.根据权利要求1或2所述的经涂覆的柔性组件(1)，所述柔性组件(1)为柔性电子组件。

16.制备经涂覆的组件(1)方法，所述方法至少包括以下步骤：

-提供柔性基板(2)；

-通过沉积至少一层基于难熔金属的金属涂层(3)来涂覆柔性基板(2)，该涂层是

MoRe涂层，

基于Mo的MoXRe涂层，其中X＝Nb,Ta,Ti,W,

WRe涂层，或

基于W的WXRe涂层，其中X＝Nb,Ta,Ti,Mo，

其特征在于基于难熔金属的涂层(3)包含大于6原子％且小于50原子％的Re。