[发明专利]包括散热器的流体推动装置

权利要求书

1.一种流体推动装置，其包括

具有第一流体通道的塑性化合物结构；

嵌入所述化合物中的MEMS，其包括衬底、流体连接到所述第一流体通道的第二流体通道和在所述第二流体通道中的流体推动致动器；以及

紧邻所述MEMS的散热器，以用于将热从所述MEMS传递出去，其中

所述散热器至少部分地由所述化合物围绕，

所述MEMS具有小于2.3毫米的宽度和小于0.8毫米的厚度，并且

所述MEMS具有每列每英寸长度至少300个致动器的平均密度。

2.根据权利要求1所述的流体推动装置，其中，所述散热器沿着所述MEMS的长度的至少一半延伸。

3.根据权利要求1所述的流体推动装置，其中，所述散热器的总体积大于所述MEMS的总体积。

4.根据权利要求1所述的流体推动装置，其中

所述衬底包括硅，并且所述第二流体通道延伸穿过所述衬底，从而连接到所述第一流体通道，

所述MEMS靠近前表面在所述衬底上包括薄膜结构，其中喷嘴连接到所述第二流体通道以排出流体，并且

从垂直于所述前表面的方向看，所述散热器紧邻所述MEMS延伸。

5.根据权利要求4所述的流体推动装置，其中，所述致动器靠近所述喷嘴在所述薄膜结构中包括喷射致动器以从所述喷嘴排出流体。

6.根据权利要求1所述的流体推动装置，其中，所述致动器包括热电阻器以充当泵以便使流体循环通过所述第二通道。

7.根据权利要求1所述的流体推动装置，其中，所述化合物在所述MEMS与所述散热器之间延伸。

8.根据权利要求1所述的流体推动装置，其中，所述化合物包括第一化合物和不同组成的第二化合物，所述第二化合物具有比所述第一化合物高的导热率，其中所述MEMS和散热器至少部分地嵌入所述第二化合物中。

9.根据权利要求1所述的流体推动装置，其包括多个平行布置的纵向成形的MEMS。

10.根据权利要求9所述的流体推动装置，其中，一个散热器邻近至少两个MEMS延伸，以将热从所述两个MEMS传导出去。

11.根据权利要求1所述的流体推动装置，其包括比MEMS更多的散热器。

12.根据权利要求1所述的流体推动装置，其中，所述散热器完全由所述化合物围绕。

13.根据权利要求1所述的流体推动装置，其中，所述散热器嵌入所述化合物中并且至少在操作中至少部分地暴露至环境空气或流体。

14.一种制造流体推动装置的方法，其包括

在模具中提供：

MEMS，所述MEMS包括流体通道和在所述流体通道中的至少一个致动器，

散热器，所述散热器邻近所述MEMS以将热从所述MEMS传递出去，以及

处于至少部分熔融状态的塑性化合物；

压缩并固化所述模具中的所述化合物，使得在固化之后，所述MEMS和散热器固定在所述化合物中的适当位置中；以及

使所述化合物中的流体通道与所述MEMS中的流体通道对准。

15.根据权利要求14所述的方法，其包括在放置在所述模具中之前，使所述散热器粘附到所述MEMS。

16.一种制造流体推动装置的方法，其包括

抵靠释放带将流体推动MEMS和散热器放置在模具中，其中所述MEMS具有小于2.3毫米的宽度和小于0.8毫米的厚度、主要由硅组成、并且包括流体通道和在所述流体通道中的热电阻器阵列；

将塑性化合物沉积在所述模具中以便至少部分地覆盖所述MEMS和散热器中的至少一者，

压缩所述模具中的所述化合物，以使其至少部分地围绕所述MEMS和散热器，

固化所述化合物，由此使所述散热器和MEMS固定在所述化合物中的适当位置中，以及

释放所述释放带。