[发明专利]放射线敏感性树脂组合物、固化膜、图案形成方法、固体摄像元件及图像显示装置有效
申请号: | 201680070064.6 | 申请日: | 2016-12-02 |
公开(公告)号: | CN108369377B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 奈良裕树;青柳薰 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/029 | 分类号: | G03F7/029;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/031;G03F7/20 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 薛海蛟 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 放射线 敏感性 树脂 组合 固化 图案 形成 方法 固体 摄像 元件 图像 显示装置 | ||
1.一种放射线敏感性树脂组合物,其包含绿色颜料、树脂、具有烯属不饱和键的聚合性化合物、邻苯二甲酰亚胺化合物、光聚合引发剂、有机溶剂及水,
所述放射线敏感性树脂组合物中,
所述光聚合引发剂包含具有选自支链烷基及环状烷基中的至少1种基团的肟酯化合物,
相对于所述放射线敏感性树脂组合物的质量,水的含量为0.1~2质量%,
所述邻苯二甲酰亚胺化合物为通式(PI)所示的化合物,
通式(PI)中,A1~A4分别独立地表示氢原子、卤素原子或烷基。
2.根据权利要求1所述的放射线敏感性树脂组合物,其中,
所述树脂包含碱溶性树脂。
3.根据权利要求1或2所述的放射线敏感性树脂组合物,其中,
所述聚合性化合物是烯属不饱和键当量为3.0~12.0mmol/g的多官能(甲基)丙烯酸酯化合物。
4.根据权利要求1或2所述的放射线敏感性树脂组合物,其中,
所述肟酯化合物具有选自碳原子数7以上的支链烷基及碳原子数7以上的环状烷基中的至少1种基团。
5.根据权利要求1或2所述的放射线敏感性树脂组合物,其中,
所述肟酯化合物具有咔唑结构。
6.根据权利要求5所述的放射线敏感性树脂组合物,其中,
所述咔唑结构在咔唑部的苯环上进一步具有环稠合而成的结构。
7.根据权利要求1或2所述的放射线敏感性树脂组合物,其中,
所述肟酯化合物为包含氟原子的肟酯化合物。
8.根据权利要求1或2所述的放射线敏感性树脂组合物,其中,
所述肟酯化合物为由式(1)表示的化合物,
式(1)中,Ar1及Ar2分别独立地表示可以具有取代基的芳香族烃环,R1~R3分别独立地表示烷基或芳基;其中,R1~R3中的至少一个为支链烷基或者环状烷基,或R1~R3、Ar1及Ar2中的至少一个具有支链烷基或者环状烷基。
9.根据权利要求1或2所述的放射线敏感性树脂组合物,其中,
所述有机溶剂为选自丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚、环己酮、乙酸丁酯、3-乙氧基丙酸乙酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、二甲苯、乙苯、甲基异丁基酮、2-丁醇、二丙二醇单甲醚中的至少1种以上。
10.根据权利要求1或2所述的放射线敏感性树脂组合物,其还包含选自彩色着色剂及无机粒子中的至少1种。
11.根据权利要求1或2所述的放射线敏感性树脂组合物,其还包含紫外线吸收剂。
12.根据权利要求1或2所述的放射线敏感性树脂组合物,其还包含热固性化合物。
13.根据权利要求1或2所述的放射线敏感性树脂组合物,其中,
所述光聚合引发剂还包含除了所述肟酯化合物以外的化合物。
14.根据权利要求13所述的放射线敏感性树脂组合物,其中,
除了所述肟酯化合物以外的化合物为选自不具有支链烷基及环状烷基的肟酯化合物、烷基苯酮化合物及酰基膦化合物中的至少1种。
15.一种固化膜,其使用权利要求1~14中任一项所述的放射线敏感性树脂组合物而成。
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