[发明专利]用于测量沉积率的测量组件、蒸发源、沉积设备及其方法

说明书

描述一种用于测量已蒸发材料的沉积率的测量组件(100)。测量组件(100)包括：第一振荡晶体(110)，用于测量沉积率；第二振荡晶体(120)，用于测量沉积率；和可移动遮板(140)。可移动遮板(140)经构造以用于阻挡从第一测量出口(151)提供的已蒸发材料，第一测量出口被引导以用于将已蒸发材料提供至第一振荡晶体(110)。另外，可移动遮板(140)经构造以用于阻挡从第二测量出口(152)提供的已蒸发材料，第二测量出口被引导以用于将已蒸发材料提供至第二振荡晶体(120)。

技术领域

本公开内容涉及一种用于测量已蒸发材料的沉积率的测量组件、一种用于材料的蒸发的蒸发源、一种用于将材料供应到基板的沉积设备、和一种用于测量已蒸发材料的沉积率的方法。本公开内容特别涉及一种用于测量已蒸发有机材料的沉积率的测量组件及其方法。另外，本公开内容特别涉及包括有机材料于其中的装置，例如，蒸发源和用于有机材料的沉积设备。

背景技术

有机蒸发器为用于制造有机发光二极管(organic light-emitting diodes，OLED)的工具。OLED为发光二极管的一种特殊形式，在所述OLED中，发光层包括特定的有机化合物的薄膜。有机发光二极管(OLED)用来制造用于显示信息的电视屏幕、计算机屏幕、移动电话、其他手持装置等。OLED也可用作一般空间照明。OLED显示器的可能的颜色、亮度和视角的范围大于传统的LCD的这些特性，因为OLED像素直接地发光而不涉及背光。因此，相较于传统的LCD显示器的能耗，OLED显示器的能耗相当地少。另外，可制造于柔性基板上的OLED产生其他应用。

OLED的功能取决于有机材料的涂层厚度。此厚度必须在预定范围中。在OLED的生产中，受影响的具有有机材料的涂层的沉积率被控制为落在预定的公差范围中。也就是说，有机蒸发器的沉积率必须在生产工艺中被充分地控制。

因此，对于OLED应用以及对于其他蒸发工艺来说，需要在相当长时间内高准确性的沉积率。现有用于测量蒸发器的沉积率的多个测量系统可用。然而，这些测量系统在所需的时间段内面临准确性不足和/或稳定性不足的情况。

因此，一直需要提供改良的沉积率测量系统、沉积率测量方法、蒸发器和沉积设备。

发明内容

鉴于上述，提供根据独立权利要求的一种用于测量已蒸发材料的沉积率的测量组件、一种蒸发源、一种沉积设备、和一种用于测量已蒸发材料的沉积率的方法。

根据本公开内容的一方面，提出一种用于测量已蒸发材料的沉积率的测量组件。测量组件包括：第一振荡晶体，用于测量沉积率；第二振荡晶体，用于测量沉积率；和可移动遮板。可移动遮板经构造以用于阻挡从第一测量出口提供的已蒸发材料，第一测量出口被引导以用于将已蒸发材料提供到第一振荡晶体。另外，可移动遮板经构造以用于阻挡从第二测量出口提供的已蒸发材料，第二测量出口被引导以用于将已蒸发材料提供到第二振荡晶体。

根据本公开内容的另一方面，提出一种用于材料的蒸发的蒸发源。蒸发源包括：蒸发坩锅，其中蒸发坩锅经构造以蒸发材料；分配组件，具有一个或多个出口，用于提供已蒸发材料。分配组件与蒸发坩锅流体连通。另外，蒸发源包括如本文所述的任何实施方式的测量组件。

根据本公开内容的其他方面，提出一种沉积设备，用于在真空腔室中以一沉积率将材料提供至基板。沉积设备包括如本文所述的任何实施方式的至少一个蒸发源。

根据本公开内容的另一方面，提出一种用于测量已蒸发材料的沉积率的方法。方法包括蒸发材料；将已蒸发材料的第一部分供应至基板；将已蒸发材料的第二部分转向至第一振荡晶体和/或第二振荡晶体；和通过使用如本文所述的任何实施方式的测量组件测量沉积率。

其他优点、特征、方面和细节从从属权利要求、说明书和附图更加清楚。

附图说明