[发明专利]位置检测装置

权利要求书

1.一种位置检测装置，其特征在于，具备：

磁尺；以及

磁传感器装置，其检测相对移动的所述磁尺的位置，

所述磁传感器装置具备：传感器基板；磁场检测用磁阻元件，其在所述传感器基板上使感磁方向朝向相对移动方向地读取所述磁尺并输出信号；以及温度修正用磁阻元件，其在所述传感器基板上使感磁方向朝向与所述相对移动方向正交的正交方向。

2.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，

所述磁传感器装置利用来自所述温度修正用磁阻元件的信号修正来自所述磁场检测用磁阻元件的所述信号。

3.根据权利要求1或2所述的位置检测装置，其特征在于，

所述磁场检测用磁阻元件和所述温度修正用磁阻元件由相同的材料构成。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的位置检测装置，其特征在于，

所述温度修正用磁阻元件的电阻值比所述磁场检测用磁阻元件的电阻值大。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的位置检测装置，其特征在于，

所述磁尺具备第一磁道和与所述第一磁道并列配置的第二磁道，

作为所述磁场检测用磁阻元件，具备读取所述第一磁道并输出第一信号的磁场检测用第一磁阻元件和读取所述第二磁道并输出第二信号的磁场检测用第二磁阻元件，

作为所述温度修正用磁阻元件，具备在所述传感器基板上配置于比所述磁场检测用第二磁阻元件更接近所述磁场检测用第一磁阻元件的位置的温度修正用第一磁阻元件、和在所述传感器基板上配置于比所述磁场检测用第一磁阻元件更接近所述磁场检测用第二磁阻元件的位置的温度修正用第二磁阻元件。

6.根据权利要求5所述的位置检测装置，其特征在于，

所述磁尺具有绝对磁道，所述绝对磁道具有磁化区域和未磁化区域以一定的节距排列的绝对图案，

所述磁传感器装置具有读取相对移动的所述磁尺的所述绝对磁道并输出绝对信号的绝对信号输出部，

所述绝对磁道具备所述第一磁道和所述第二磁道，

所述第一磁道具有所述绝对图案，

所述第二磁道具备磁化区域及未磁化区域以所述节距与所述绝对图案相反地排列的磁化图案，

所述绝对信号输出部具备：第一电桥电路，其在电压输入端子和接地端子之间串联连接有所述磁场检测用第一磁阻元件和所述磁场检测用第二磁阻元件；以及第二电桥电路，其在所述电压输入端子和所述接地端子之间串联连接有所述温度修正用第一磁阻元件和所述温度修正用第二磁阻元件，

基于从所述磁场检测用第一磁阻元件和所述磁场检测用第二磁阻元件之间输出的第一中点电压及从所述温度修正用第一磁阻元件和所述温度修正用第二磁阻元件之间输出的第二中点电压之差，输出所述绝对信号。

7.根据权利要求6所述的位置检测装置，其特征在于，

所述磁尺包括具有以第一节距形成的第一增量图案的第一增量磁道和具有以比所述第一节距长的第二节距形成的第二增量图案的第二增量磁道，

所述磁传感器装置具备：第一增量信号输出部，其读取相对移动的所述磁尺的所述第一增量磁道并输出与所述第一节距对应的长度的第一波长的第一增量信号；第二增量信号输出部，其读取相对移动的所述磁尺的所述第二增量磁道并输出与所述第二节距对应的长度的第二波长的第二增量信号；以及运算处理部，其基于所述第一增量信号及所述第二增量信号，取得为所述第一波长及所述第二波长的整数倍的第三波长的第三增量信号，

所述绝对磁道的所述绝对图案以比所述第二节距长的第三节距形成，

所述绝对信号输出部输出与所述第三节距对应的所述第三波长的绝对信号。