[发明专利]磁检测装置

权利要求书

1.一种磁检测装置，具有：基板，具有凹部；以及磁阻效应元件，设置于上述凹部的倾斜侧面，上述磁检测装置的特征在于，

设置有至少两处的Z检测凹部，上述Z检测凹部具有相互对置且随着趋向基板表面而对置间隔逐渐扩大的第1倾斜侧面和第2倾斜侧面，在上述第1倾斜侧面和上述第2倾斜侧面分别设置有磁阻效应元件，

上述磁阻效应元件具有固定磁性层、自由磁性层、以及形成在上述固定磁性层和上述自由磁性层之间的非磁性中间层，关于各个上述磁阻效应元件，上述固定磁性层的固定磁化的方向被设定为沿着上述倾斜侧面、且朝向上述基板的厚度方向倾斜，

上述磁阻效应元件中的、上述固定磁化的方向在上述基板的板厚方向相互为相反方向的上述磁阻效应元件串联连接而构成元件列，两列上述元件列并联连接而构成电桥电路，

利用上述电桥电路检测上述基板的板厚方向即Z方向的磁，

上述磁检测装置中设置有：设置于上述第1倾斜侧面和上述第2倾斜侧面的磁阻效应元件的上述固定磁化均在上述基板的板厚方向上朝向下方的上述Z检测凹部、以及设置于上述第1倾斜侧面和上述第2倾斜侧面的磁阻效应元件的上述固定磁化均在上述基板的板厚方向上朝向上方的上述Z检测凹部，

设置于不同的上述Z检测凹部的上述第1倾斜侧面的、上述固定磁化的方向相互为相反方向的上述磁阻效应元件串联连接而构成第1元件列，

设置于不同的上述Z检测凹部的上述第2倾斜侧面的、上述固定磁化的方向相互为相反方向的上述磁阻效应元件串联连接而构成第2元件列，

上述第1元件列和上述第2元件列并联连接而构成上述电桥电路。

2.根据权利要求1所述的磁检测装置，其中，

在所有的上述Z检测凹部，在设置于同一Z检测凹部的上述第1倾斜侧面和上述第2倾斜侧面的上述磁阻效应元件中，固定磁化的方向在上述基板的板厚方向上相互为相反方向。

3.根据权利要求1或2所述的磁检测装置，其中，

在上述基板上，与上述Z检测凹部一起设置有至少两处的水平检测凹部，上述水平检测凹部具有相互对置且随着趋向基板表面而对置间隔逐渐扩大的第1倾斜侧面和第2倾斜侧面，在上述第1倾斜侧面和上述第2倾斜侧面设置有上述磁阻效应元件，

关于各个上述磁阻效应元件，固定磁性层的固定磁化的方向被设定为沿着上述倾斜侧面、且朝向上述基板的厚度方向倾斜，

设置于上述水平检测凹部的上述磁阻效应元件中的、上述固定磁化的方向沿着上述基板表面相互为相反方向的上述磁阻效应元件串联连接而构成元件列，两列上述元件列并联连接而构成电桥电路，

利用上述电桥电路检测与上述基板表面平行的方向的磁。

4.根据权利要求3所述的磁检测装置，其中，

在所有的上述水平检测凹部，在设置于同一水平检测凹部的上述第1倾斜侧面的上述磁阻效应元件和设置于上述第2倾斜侧面的上述磁阻效应元件中，上述固定磁化沿着基板表面相互为相反方向。

5.根据权利要求3所述的磁检测装置，其中，

设置于同一上述水平检测凹部的上述第1倾斜侧面和上述第2倾斜侧面的上述磁阻效应元件的固定磁化的方向沿着上述基板表面为相同方向，

在不同的上述水平检测凹部之间，上述磁阻效应元件的固定磁化的方向沿着上述基板表面相互为相反方向，

设置于不同的上述水平检测凹部的上述第1倾斜侧面的、上述固定磁化的方向相互为相反方向的上述磁阻效应元件串联连接而构成第1元件列，

设置于不同的上述水平检测凹部的上述第2倾斜侧面的、上述固定磁化的方向相互为相反方向的磁阻效应元件串联连接而构成第2元件列，

上述第1元件列和上述第2元件列并联连接而构成上述电桥电路。

6.根据权利要求3所述的磁检测装置，其中，

作为上述水平检测凹部，检测相互正交的X－Y方向中的X方向的磁场的至少两处的X检测凹部、和检测Y方向的磁场的至少两处的Y检测凹部设置于同一上述基板。