[发明专利]用于稳定相对外部运行条件的光源

权利要求书

1.一种激光装置，包括：

光源，用于发射具有第一峰值波长的源光束；

非线性光学部件，用于执行将所述源光束的至少一部分转换为具有不同于第一峰值波长的第二峰值波长的输出光束的频率转换过程；以及

容纳所述光源和所述非线性光学部件的壳体，

其特征在于，所述壳体用于在所述激光光源和所述非线性光学部件之间提供良好的热接触，以非主动温度控制的方式使得所述激光光源的温度变化引起所述非线性光学部件的温度变化来最小化所述光源和所述非线性光学部件之间的温差，从而最小化波长失配误差，所述波长失配误差构成所述源光束的所述第一峰值波长与所述非线性光学部件中的所述频率转换过程具有最大值的波长之间的差值。

2.根据权利要求1所述的激光装置，其特征在于，所述光源在所述壳体上的附着点和所述非线性光学部件在所述壳体上的附着点之间的距离小于200mm。

3.根据权利要求1或2所述的激光装置，其特征在于，所述光源与所述非线性光学部件之间的所述壳体的材料的导热率至少为10W·m^-1·K^-1。

4.根据权利要求1或2所述的激光装置，其特征在于，所述光源与所述非线性光学部件之间的所述壳体的热容量小于500J·K^-1。

5.根据权利要求1或2所述的激光装置，其特征在于，所述非线性光学部件的热容量小于0.1J·K^-1。

6.根据权利要求1或2所述的激光装置，其特征在于，还包括位于所述壳体内的散热器。

7.根据权利要求1或2所述的激光装置，其特征在于，所述输出光束包括具有所述源光束的所述第一峰值波长的残余光束；

所述激光装置还包括光学部件，用于引导所述残余光束作为加热所述非线性光学部件的热源，作为最小化所述波长失配误差的一部分。

8.根据权利要求7所述的激光装置，其特征在于，还包括与所述非线性光学部件热接触的吸收部件，其中光学部件将所述残余光束引导到所述吸收部件上，并且所述吸收部件吸收所述残余光束。

9.根据权利要求7所述的激光装置，其特征在于，还包括滤光器，所述滤光器从具有所述第二峰值波长的所述输出光束的所述部分空间分离出所述残余光束。

10.根据权利要求1、2、8和9中任一项所述的激光装置，其特征在于，还包括聚焦所述源光束的聚焦光学部件；

其中，所述聚焦光学部件用于将所述源光束聚焦为具有大于输出最大输出功率的第二会聚半角的第一会聚半角。

11.根据权利要求1、2、8和9中任一项所述的激光装置，其特征在于，所述光源用于发射具有至少0.5nm的谱线宽度的源光束。

12.根据权利要求1、2、8和9中任一项所述的激光装置，其特征在于，还包括用于稳定所述输出光束的方向和/或位置的光束稳定光学部件。

13.根据权利要求12所述的激光装置，其特征在于，所述光束稳定光学部件包括透镜、衍射光栅、棱镜或反射镜中的至少一个。

14.根据权利要求1、2、8、9和13中任一项所述的激光装置，其特征在于，还包括用于减小所述源光束的所述第一峰值波长的变化来最小化波长失配误差的波长稳定部件。

15.根据权利要求14所述的激光装置，其特征在于，所述波长稳定部件包括衍射光栅。

16.根据权利要求1、2、8、13和15中任一项所述的激光装置，其特征在于，所述激光装置具有至少±10℃的可运行范围。