[发明专利]新颖化合物、含有该化合物而成的光聚合引发剂及含有该光聚合引发剂的感光性树脂组合物在审
申请号: | 201680071396.6 | 申请日: | 2016-12-07 |
公开(公告)号: | CN108368036A | 公开(公告)日: | 2018-08-03 |
发明(设计)人: | 寺田究;山本和义;有光晃二 | 申请(专利权)人: | 学校法人东京理科大学;日本化药株式会社 |
主分类号: | C07C271/24 | 分类号: | C07C271/24;C07C271/12;G03F7/031;G03F7/032 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 蒋林清 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 式( 1 ) 光聚合引发剂 新颖化合物 感光性树脂组合物 氢原子 保存稳定性 活性能量线 金属腐蚀性 饱和烃 高感度 环结构 烷氧基 硬化物 有机基 自由基 残基 羟基 照射 | ||
1.一种化合物,其是以下述式(1)表示:
[化1]
(式(1)中,R1表示氢原子、羟基、烷氧基或所述取代基以外的有机基,于R1存在数个的情形时,各个R1可以相互相同也可以不同;R2至R6分别独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、烷氧基、巯基、硫基、硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、氰基、亚磺酸基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、氨基、铵基或所述取代基以外的有机基;另外,存在于同一苯环上的选自R2至R6中的2个以上也可以键结而形成环结构;X表示自含有环结构的饱和烃除去n个氢原子而成的残基;n表示1至6的整数)。
2.根据权利要求1所述的化合物,其是以下述式(2)表示:
[化2]
(式(2)中,R1至R6表示与权利要求1中记载的式(1)中的R1至R6相同的含义;
A表示亚环烷基;D表示亚烷基)。
3.根据权利要求2所述的化合物,其是以下述式(3)表示:
[化3]
(式(3)中,R1至R6表示与权利要求2中记载的式(2)中的R1至R6相同的含义)。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的化合物,其中R1为羟基。
5.一种光聚合引发剂,其含有根据权利要求1至4中任一项所述的化合物。
6.一种感光性树脂组合物,其含有能够于光聚合引发剂的存在下通过光照射或通过光照射与加热而进行聚合的高分子前驱物、及根据权利要求5所述的光聚合引发剂。
7.根据权利要求6所述的感光性树脂组合物,其中高分子前驱物包含选自由如下化合物所组成的群中的一种以上:具有选自由环氧基、异氰酸酯基、氧杂环丁烷基、丙烯酰基、甲基丙烯酰基、马来酰亚胺基及硫杂环丙烷基所组成的群中的取代基的化合物;聚硅氧烷前驱物;聚酰亚胺前驱物及聚苯并恶唑前驱物。
8.根据权利要求7所述的感光性树脂组合物,其中高分子前驱物包含具有环氧基的化合物。
9.一种图案的形成方法,其包含如下步骤:以特定的图案状对根据权利要求6至8中任一项所述的感光性树脂组合物的涂膜、膜或成形物照射光之后进行加热,或者一边进行加热一边以特定的图案状照射光,借此使照射部位的溶解性发生变化;以及实施显影而将未照射部位除去。
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