[发明专利]具有激光激活的吸气剂材料的传感器元件

权利要求书

1.用于制造微机械结构元件(1)的方法，所述微机械结构元件具有衬底(3)和与所述衬底(3)连接并且与所述衬底(3)包围第一空穴(5)的罩(7)，其中，在所述第一空穴(5)中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，

-在第一方法步骤(101)中，在所述衬底(3)中或在所述罩(7)中构造连接所述第一空穴(5)与所述微机械结构元件(1)的周围环境(9)的进入开口(11)，其中，

-在第二方法步骤(102)中，设定在所述第一空穴(5)中的所述第一压力和/或所述第一化学组分，其中，

-在第三方法步骤(103)中，通过借助于激光将能量或热量引入到所述衬底(3)或所述罩(7)的吸收部分中来封闭所述进入开口(11)，其特征在于，

借助于通过所述激光产生的激光辐射(505)至少部分地在所述第三方法步骤(103)期间激活在所述第三方法步骤(103)之前引入到所述第一空穴(5)中的吸气剂(503)。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在第四方法步骤中所述衬底(3)与所述罩(7)这样连接，使得所述空穴(5)与所述周围环境(9)密封地分开，其中，所述第四方法步骤在所述第一方法步骤(101)之前或之后实施。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，在第五方法步骤中实施抽吸步骤和/或加热步骤和/或冲洗步骤和/或清洁步骤。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述第五方法步骤在时间上在所述第一方法步骤之后并且在时间上在所述第三方法步骤(103)之前实施。

5.微机械结构元件(1)，具有衬底(3)和与所述衬底(3)连接的并且与所述衬底(3)包围第一空穴(5)的罩(7)，其中，在所述第一空穴(5)中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，所述衬底(3)或所述罩(7)包括封闭的进入开口(11)，其特征在于，

所述微机械结构元件(1)包括在所述第一空穴(5)中布置的并且至少部分通过在封闭所述进入开口(11)期间产生的激光辐射(505)激活的吸气剂(503)。

6.根据权利要求5所述的微机械结构元件(1)，其中，已激活的所述吸气剂(503)这样布置，使得已激活的所述吸气剂(503)到所述微机械结构元件(1)的主延伸平面(100)上的第一投影和所述进入开口(11)到所述主延伸平面(100)上的第二投影至少部分重叠。

7.根据权利要求5或6所述的微机械结构元件(1)，其中，所述衬底(3)和/或所述罩(7)包括硅。

8.根据权利要求5或6所述的微机械结构元件(1)，其中，已激活的所述吸气剂(503)包括不可逆的吸气剂材料和/或可逆的吸气剂材料。

9.根据权利要求5或6所述的微机械结构元件(1)，其中，所述罩(7)与所述衬底(3)包围第二空穴，其中，在所述第二空穴中存在第二压力并且包含具有第二化学组分的第二气体混合物。

10.根据权利要求9所述的微机械结构元件(1)，其中，所述第一压力小于所述第二压力，其中，在所述第一空穴(5)中布置有用于转速测量的第一传感器单元，并且在所述第二空穴中布置有用于加速度测量的第二传感器单元。