[发明专利]具有激光激活的吸气剂材料的传感器元件

权利要求书

1.用于制造微机械结构元件（1）的方法，所述微机械结构元件具有衬底（3）和与所述衬底（3）连接并且与所述衬底（3）包围第一空穴（5）的罩（7），其中，在所述第一空穴（5）中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，- 在第一方法步骤（101）中，在所述衬底（3）中或在所述罩（7）中构造连接所述第一空穴（5）与所述微机械结构元件（1）的周围环境（9）的进入开口（11），其中，- 在第二方法步骤（102）中，设定在所述第一空穴（5）中的所述第一压力和/或所述第一化学组分，其中，- 在第三方法步骤（103）中，通过借助于激光将能量或热量引入到所述衬底（3）或所述罩（7）的吸收部分中来封闭所述进入开口（11），其特征在于，在时间上在所述第三方法步骤（103）之前将用于进一步设定所述第一压力和/或所述第一化学组分的可逆吸气剂（603）引入到所述第一空穴（5）中，其中，所述可逆吸气剂（603）包括可再生的吸附材料。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在第四方法步骤中所述衬底（3）与所述罩（7）这样连接，使得所述空穴（5）与所述周围环境（9）密封地分开，其中，所述第四方法步骤在时间上在所述第一方法步骤（101）之前或在时间上在所述第一方法步骤之后实施。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，在第五方法步骤中使所述可逆吸气剂（603）再生和/或激活。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述第五方法步骤在20℃和400℃之间的温度中实施。

5.根据权利要求3所述的方法，其中，所述第三方法步骤（103）和所述第五方法步骤至少部分地在相同时间实施。

6.根据权利要求1或2所述的方法，其中，在第六方法步骤中实施抽吸步骤和/或加热步骤和/或冲洗步骤和/或清洁步骤。

7.根据权利要求4所述的方法，其中，所述第五方法步骤在50℃和300℃之间的温度中实施。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述第五方法步骤在100℃和200℃之间的温度中实施。

9.微机械结构元件（1），具有衬底（3）和与所述衬底（3）连接并且与所述衬底（3）包围第一空穴（5）的罩（7），其中，在所述第一空穴（5）中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，所述衬底（3）或所述罩（7）包括封闭的进入开口（11），其特征在于，在所述第一空穴（5）中布置有用于进一步设定所述第一压力和/或所述第一化学组分的可逆吸气剂（603），其中，所述可逆吸气剂（603）包括可再生的吸附材料。

10.根据权利要求9所述的微机械结构元件（1），其中，所述可逆吸气剂（603）包括不可逆吸气剂材料和/或可逆吸气剂材料。

11.根据权利要求9或10所述的微机械结构元件（1），其中，所述罩（7）与所述衬底（3）包围第二空穴，其中，在所述第二空穴中存在第二压力并且包含具有第二化学组分的第二气体混合物。

12.根据权利要求11所述的微机械结构元件（1），其中，所述第一压力小于所述第二压力，其中，在所述第一空穴（5）中布置有用于转速测量的第一传感器单元，并且在所述第二空穴中布置有用于加速度测量的第二传感器单元。