[发明专利]光电倍增器及其制作方法

权利要求书

1.一种光电倍增器，包括：

电子喷射器，其配置成回应于入射到所述电子喷射器上的入射光来发射一次电子；

检测器，其配置成收集电子并提供代表所述入射光的输出信号；

衬底；以及

至少部分地暴露在所述衬底中并且在所述电子喷射器与所述检测器之间的第一电极，所述第一电极配置成回应于电子撞击所述第一电极而发射二次电子；

至少部分地暴露在所述衬底中并且在所述第一电极与所述检测器之间的第二电极，所述第二电极配置成回应于电子撞击所述第二电极而发射二次电子；

至少部分地暴露在所述衬底中并且在所述第二电极与所述检测器之间的第三电极，所述第三电极配置成回应于电子撞击所述第三电极而发射二次电子；

其中，所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极中的每个电极包括与所述衬底的法线方向成角度的平坦或弯曲的表面；

其中，所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极中的每个电极包括第一端和第二端，所述第一端比所述第二端更接近所述电子喷射器；

其中，使得所述第一电极的第二端和所述第三电极的第二端所在的平面与所述第二电极相交。

2.如权利要求1所述的光电倍增器，该光电倍增器进一步包括透明电极，所述透明电极配置成在所述电子喷射器与所述检测器之间建立电场。

3.如权利要求1所述的光电倍增器，其中，所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极中的每个电极包括MgO、碱锑化物、碱卤化物、BeO、GaP、GaAsP、PbO或Cs₂O。

4.如权利要求1所述的光电倍增器，其中，所述检测器包括一个或多个电极以及电连接到所述一个或多个电极的放大器。

5.如权利要求1所述光电倍增器，其中，所述衬底包括半导体或绝缘体。

6.如权利要求1所述的光电倍增器，其中，所述角度在30度与60度之间。

7.如权利要求1所述的光电倍增器，其中，所述电子喷射器包括双碱、多碱、Ag-O-Cs、Sb-Cs、InGaAs、GaAs、Cs-Te或Cs-I。

8.如权利要求1所述的光电倍增器，其中，所述输出信号是电压变化或频率变化。

9.如权利要求1所述的光电倍增器，其中，所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极至少部分地暴露在所述衬底的孔中。

10.如权利要求1所述的光电倍增器，其中，所述弯曲表面是部分圆柱形表面、部分球形表面或部分椭圆形表面。

11.一种夜视设备，包括：

如权利要求1所述的光电倍增器，

其中，所述夜视设备配置成用于检测来自光源但对人类肉眼不可见的光子。